反应溅射在溅射气体中加入少量的反应气体

反应溅射

在溅射气体中加入少量的反应气体如氮气，氧气，烷类等，使反应气体与靶材原子一起在衬底上沉积，对一些不易找到块材制成靶材的材料，或溅射过程中薄膜成分容易偏离靶材原成分的，都可利用此方法。

反应气体：O2，N2，NH3，CH4，H2S等

镀膜操作

将制好的样品台放在样品托内，置于离子溅射仪中，盖好顶盖，拧紧螺丝，打开电源抽真空。待真空稳定后，约为5 X10-1mmHg，按下"启动"按钮，通过调节针阀将电流调至6~8mA，开始镀金，镀金一分钟后自动停止，关闭电源，打开顶盖螺丝，放气，取出样品即可。

若粉末自身导电,则可直接放入台式扫描电镜中分析

若粉末自身导电，则可直接放入台式扫描电镜中分析，若粉末自身不导电，除非用环境扫描或低真空台式扫描电镜，否则还需蒸镀导电膜后再放入台式扫描电镜中分析。对粉末颗粒的蒸镀选用旋转镀膜台，若没有旋转镀膜台，则至少应采用两次人为相反方向的倾斜摆放进行镀膜，才能解决粉末颗粒造成的掩蔽死角所带来的不利影响，而对于那些用环氧树脂镶嵌并经研磨、抛光、清洗后的样品，通常只要平放蒸镀一次就可以进行分析。

扫描电子显微镜(SEM)之所以如此强大

扫描电子显微镜（SEM）之所以如此强大，首先是他成像清晰，放大倍数超乎想象，可以达到几十万倍。它远远超出了光学显微镜的范围。 几乎它的出现，可以说是让研究进入了一个全新的境界。大景深。除成像外，还可以增加其他设备进行更细致的分析和多样化的功能。例如，SEM-EDS是一种扫描电子显微镜，配备有微量分析能谱仪，用于检测元素的总种类和含量。这里是普及一下景深的概念，在写的过程中也是理解的。简单的说，比如我们用手机拍照的时候对焦在一个物体上，可以清楚的看到这个点的内容，而且在这个点前后一定范围内，不严重模糊，可以清楚看到的范围称为景深。