影响扫描电镜的分辨本领的主要因素

影响扫描电镜的分辨本领的主要因素有：

　　A. 入射电子束束斑直径：为扫描电镜分辨本领的极限。一般，热阴极电子的很小束斑直径可缩小到6nm，场发射电子可使束斑直径小于3nm。

　　B. 入射电子束在样品中的扩展效应：扩散程度取决于入射束电子能量和样品原子序数的高低。入射束能量越高，样品原子序数越小，则电子束作用体积越大，产生信号的区域随电子束的扩散而变大，从而降低了分辨率。

　　C. 成像方式及所用的调制信号：当以二次电子为调制信号时，由于其能量低(小于50 eV)，平均自由程短(10~100 nm左右)，只有在表层50～100 nm的深度范围内的二次电子才能逸出样品表面， 发生散射次数很有限，基本未向侧向扩展，因此，二次电子像分辨率约等于束斑直径。

台式扫描电镜的真空要求和小容量的抽真空使

台式扫描电镜的真空要求和小容量的抽真空使台式扫描电镜抽真空时间短，也比传统落地扫描电镜呈像速度快。台式扫描电镜可直接操作，节省了实验操作人员执行分析，准备报告并传达结果所需的时间。除了台式扫描电镜系统响应快之外，分析即时性和用户实时根据观察结果来指导研究工作是具有要当大的潜在价值的。在一些应用中，比如钙钛矿的观察，因为钙钛矿在空气中非常容易氧化，因此如果抽真空的时间过长，样品的表面形貌和成分会发生改变，台式扫描电镜能有效地减小钙钛矿的氧化。

钨灯丝台式扫描电镜的操作性能以及技术参数

看表面形貌，电子成像，亮的区域高，暗的区域低。非常薄的薄膜，背散射电子会造成假像。导电性差时，电子积聚也会造成假像。

钨灯丝台式扫描电镜性能是很多人关心的因素，所谓的性能包括两个因素，包括钨灯丝台式扫描电镜的操作性能以及技术参数。首先是操作性能，在设计机器的过程中操作性能是重要考察的因素，考验是设备部件之间的相互衔接，能否在测量的过程中更加的操作钨灯丝台式扫描电镜是影响设备性能的关键因素。不仅是钨灯丝台式扫描电镜操作性能，钨灯丝台式扫描电镜的测量技术参数也是不可忽视性能因素，看看台式扫描电镜的技术参数是否能够满足自己的测量的需求。