扫描电镜的电子束轰击试样

当扫描电镜的电子束轰击试样表面时，电子束会进入试样内部，产生散射现象，电子束在散射后会改变前进方向，而且还会损失部分能量，随之而来产生各种其他信息，如热、俄歇电子、X射线、可见光、二次电子、背散射电子等。

当入射电子与试样相互作用后，其中有一部分电子会返回表面逸出，则这部分被返回表面逸出的原入射电子被称为背散射电子。在实际成像过程中，通常以能量大小对电子信息进行分类，能量大于50eV而小于入射束能量E0的电子称为背散射电子，大部分背散射电子的能量约为原入射能量E0的0.7～0.9倍。利用背散射电子来成像所获得的图像称为背散射电子像。背散射电子像在电镜成像中的使用率和图像的分辨力也都比较高，仅次于一次电子像。

扫描电镜能谱一体机标配光学导航功能

扫描电镜能谱一体机标配光学导航功能，点击感兴趣的区域，在数秒内既可以得到样品微观形貌信息，点击切换至能谱软件界面可快速得到该区域的表面元素分布信息。扫描电镜能谱软件可以使用户实现多点分析，灵活检测样品的元素组分。同时，该软件还支持元素分析线扫、面扫功能。优化精简的操作界面可以帮助用户更方便地收集、导出分析数据。

扫描电镜是用聚焦电子束在试样表面逐点扫描成像。试样为块状或粉末颗 粒，成像信号可以是二次电子、背散射电子或吸收电子。其中二次电子是主要的成像信号。

扫描电镜带能谱是一种体积小巧,可安放在实验台面上操作的台式电

扫描电镜带能谱是一种体积小巧，可安放在实验台面上操作的台式电子显微镜。它的电子光学系统、探测器、电路控制系统、信号采集系统和操作软件均为自主研制。独立研发的电子光学系统设计，使拍摄图片具有更高的信噪比和对比度。配合很高的信号采集带宽，可以在视频帧率下高质量的流畅显示样品。只需鼠标就可完成所有操作，无需光阑对中等复杂步骤。主机集成高压及控制系统，是目前市面上体积较小的台式扫描电镜，便于移动，安装无需特殊环境。

国产台式扫描电镜采用钨灯丝电子

国产台式扫描电镜采用钨灯丝电子，加速电压在1-15kV范围内连续可调，搭配二次电子探测器、背散射电子探测器、集成式oxford能谱仪，同时满足形貌观测及元素分析需求。 当有电流流经灯丝时，阴极被直接加热，钨灯丝中的电子受热激发，在加速电场的作用下，电子定向发射。在正常的工作温度下，电子从大约100um×150um的面积发射离开“V”形阴极。当阴极的发射温度增加时，其发射电流以指数的方式快速增长，使得束斑亮度大增。