离子溅射镀膜原理及特点

离子溅射镀膜

原理：

离子溅射镀膜是在部分真空的溅射室中辉光放电，产生正的气体离子；在阴极（靶）和阳极（试样）间电压的加速作用下，荷正电的离子轰击阴极表面，使阴极表面材料原子化；形成的中性原子，从各个方向溅出，射落到试样的表面，于是在试样表面上形成一层均匀的薄膜。

特点：

对于任何待镀材料，只要能做成靶材，就可实现溅射（适合制备难蒸发材料，不易得到高纯度的化合物所对应的薄膜材料）；

溅射所获得的薄膜和基片结合较好；

消耗少，每次仅约几毫克；

溅射工艺可重复性好，膜厚可控制，同时可以在大面积基片上获得厚度均匀的薄膜。

如果用标样来做有标样法的定量分析

如果用标样来做有标样法的定量分析，为了保证待测样品与标样膜厚度相同，标样和样品应放在一起同时蒸镀。如果所要分析的样品中含有碳，而又要进行碳的定量分析，则该样品采用环境扫描或低真空的电镜做分析。如果没有低真空的台式扫描电镜，而改镀金属膜，则超轻元素会受到明显衰减。如果样品表面镀有导电膜，在做定量分析时应把所镀膜层的元素峰排除在外，即应让所蒸镀的元素峰参与峰剥离，而不参与定量计算，以尽量减小外来因素的影响。

扫描电子显微镜在微观领域的研究中是非常实用且的仪器

扫描电子显微镜在微观领域的研究中是非常实用且的仪器。经过半个多世纪的发展，扫描电镜的功能已经得到了很大完善，它可以与许多仪器联用，不仅可以观察样品的形貌，也可以对样品成分或晶体结构进行分析。 在分析测试之前，制备一个好的样品就显得尤为重要了，扫描电镜制样的好坏直接关系到图像的拍摄、观察和对图像的分析。如果样品制备得不合适，没有达到扫描电镜的观察条件，即便所使用的扫描电镜性能再好也很难拍摄出满意的图像和得出准确的分析结果。 相较于透射电镜而言，扫描电镜的样品制备过程就显得简单多了。