二次电子检测信号和光电转换效率要高

二次电子的检测信号和光电转换效率要高→图像信号的接收和信噪比的问题。试样表面的细节要足够多和细、组分反差要大→试样表面的结构问题。试样的导电性要好、二次电子产额要高→试样的特征和制备问题。加速电压和束流的大小、束斑的对中、工作距离和图像的衬度调节等电镜参数的选择要合理→操作人员的工作经验、综合素质问题。供电电压的波动、地面的振动、周围的磁场和噪声等各种干扰都要尽可能小→环境条件的问题。

扫描电子显微镜的功能

　　1、扫描电子显微镜追求固体物质高分辨的形貌，形态图像(二次电子探测器SEI)-形貌分析(表面几何形态，形状，尺寸)

　　2、显示化学成分的空间变化，基于化学成分的相鉴定---化学成分像分布，微区化学成分分析

　　1)用x射线能谱仪或波谱(EDS or WDS)采集特征X射线信号，生成与样品形貌相对应的，元素面分布图或者进行化学成分定性定量分析，相鉴定。

　　2)利用背散射电子(BSE)基于平均原子序数(一般和相对密度相关)反差，生成化学成分相的分布图像；

　　3)利用阴极荧光，基于某些痕量元素(如过渡金属元素，稀土元素等)受电子束激发的光强反差，生成的痕量元素分布图像。

扫描电镜能谱一体机内部集成了用于分析样品元素组分的能谱仪

扫描电镜能谱一体机是光学表征仪器产品的全明星，用户通过一台设备就可以实现形貌表征及元素分析功能。研究样品时，得到样品的形貌信息只是解决了一半问题。获得样品的元素组分信息往往也是非常必要的。

扫描电镜能谱一体机内部集成了用于分析样品元素组分的能谱仪。对于很多既需要观察表面形貌又要检测表面元素组分分布的用户非常适用，既减轻了用户单次设备采购成本，又具有体积小、集成化高、故障率低、易于使用维护等诸多优点。