扫描电子显微镜的应用

　扫描电子显微镜广泛用于材料科学（金属材料、非金属材料、纳米材料）、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探、病虫害的防治、灾害（火灾、失效分析）鉴定、宝石鉴定、工业生产中的产品质量鉴定及生产工艺控制等。

　　显微镜在材料科学、金属材料、陶瓷材料半导体材料、化学材料等领域，进行材料的微观形貌、组织、成分分析。各种材料的形貌组织观察，材料断口分析和失效分析，材料实时微区成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面扫描和线扫描分布测量，晶体/晶粒的相鉴定，晶粒尺寸、形状分析，晶体、晶粒取向测量。

　　其工作原理为：在高真空的镜筒中，由电子***产生的电子束经电子会聚透镜聚焦成细束后，在样品表面逐点进行扫描轰击，产生一系列电子信息（二次电子、背反射电子、透射电子、吸收电子等），由探测器将各种电子信号接收后经电子放大器放大后输入由显像管栅极控制的显像管。

全自动扫描电镜是工业发展的***科技

全自动扫描电镜由电子***和电磁透镜两部分组成，主要用于产生一束能量分布极窄的、电子能量确定的电子束用以扫描成像，热发射电子需要电磁透镜来成束，所以在用热发射上，电磁透镜*。

全自动扫描电镜通常会装配两组：汇聚透镜：顾名思义，汇聚透镜用汇聚电子束，装配在真空柱中，位于电子***之下。通常不止一个，并有一组汇聚光圈与之相配。但汇聚透镜仅仅用于汇聚电子束，与成像会焦无关 。物镜：物镜为真空柱中下方的一个电磁透镜，它负责将电子束的焦点汇聚到样品表面。

电子经过一系列电磁透镜成束后，打到样品上与样品相互作用，会产生次级电子、背散射电子以及X射线等一系列信号，所以需要不同的探测器譬如次级电子探测器、X射线能谱分析仪等来区分这些信号以获得所需要 的信息，虽然X射线信号不能用于成像，但习惯上，仍然将X射线分析系统划分到成像系统中。与普通光学显微镜不同，在全自动扫描电镜中，是通过控制扫描区域的大小来控制放大率的，如果需要更高的放大率，只需 要扫描更小的一块面积就可以了。放大率由屏幕/照片面积除以扫描面积得到。

扫描电镜可实现更多功能

扫描电镜可简化从样品观察、图像确认到生成报告等一系列操作过程，大幅提高了工作效率，还标配了报告生成功能，观察结束后可十分轻松地将拍摄的图像制作成格式的报告，此外，选配项还可实现更多功能。

扫描电镜的低真空系统使得样品不需任何处理即可快速进行观察，优化提供5kV、10kV、15kV三种不同电压下的观察模式，每种模式下电流4档可调，并配备4分割背散射探测器，可四个不同方向的图像信息，对样品进行多种模式成像。扫描电镜具有全新的导航功能，同时，电镜图片可以报告形式导出，配备大型样品仓，可容纳大样品直径80mm，厚度50mm。

扫描电镜是一台、功能强大的高分辨应用型扫描电子显微镜。系统采用多接口的大样品室和艺术级的物镜设计，提供高真空成像功能，可对各种材料表面作分析。并且具有业界的X射线分析条件，样品台为五轴全自动控制，标准的率无油涡轮分子泵满足快速的样品更换和无污染成像分析。

扫描电镜成功进入***制造领域

首先，电镜的分辨率是一项重要的参数， 台式扫描电镜大样品室版Phenom XL系列具有14nm的分辨率，能够为客户提供高质量的电子图像；

其次，电镜配置有双探头，能够呈现背散射图像和二次电子图像，为客户提供原子序数衬度图像和形貌衬度图像，满足不同的成像需求；

其三， 电镜对样品的导电性要求非常宽松，即使是不导电的样品，也可直接进行观察而不需喷金，这就大大扩宽了电镜的测试能力，为上述多类生物样品的观察创造了机会 ；

其四，台式扫描电镜大样品室版Phenom XL具有100mm*100mm*40mm的样品空间，可一次放置36个直径为半英寸的样品台，大幅提升测试效率。