二次电子是相对于入射电子的一种提法
二次电子是相对于入射电子的一种提法。它是指被高能入射(也称为一次或初次)电子束轰击出来的试样中的核外电子。由于原子核和外层价电子间的结合能很小,当原子的核外电子从入射电子那里获得大于相应的结合能后,就可脱离原子核的约束而成为自由电子。如果这种脱离过程发生在试样表面和亚表面层,那么这些能量大于材料逸出功的电子就可以从试样表面逸出,就成为二次电子。
聚焦电子束与试样相互作用
由电子发射的能量为 5 ~ 35keV 的电子,以其交 叉斑作为电子源,经二级聚光镜及物镜的缩小形成具有一定能量、一定束流强度 和束斑直径的微细电子束,在扫描线圈驱动下,于试样表面按一定时间、空间顺序作栅网式扫描。聚焦电子束与试样相互作用,产生二次电子发射(以及其它物 理信号),二次电子发射量随试样表面形貌而变化。二次电子信号被探测器收集 转换成电讯号,经视频放大后输入到显像管栅极,调制与入射电子束同步扫描的 显像管亮度,得到反映试样表面形貌的二次电子像。
若灯丝的加热电流偏小,未达到临界饱和点
若灯丝的加热电流偏小,未达到临界饱和点,则会使灯丝的温度偏低,发射束流偏小且不稳定,结果会导致亮度不足、图像的信噪比变差;若灯丝的加热电流刚好处在临界饱和点,则发射的束流既稳定,亮度又高,图像的信噪比又比较好;若加热的电流超过临界饱和点,则只会增加灯丝的温度,而发射束流不会有明显增加,但会明显缩短灯丝的寿命,这种情况下的阴极激发电极寿命可能只有30~40小时,寿命短的甚至不到20小时。
台式扫描电镜对操作员培训的要求
建立大型分析测试时,扫描电镜可以起到承上启下的作用,早期能满足大部分的测试需要,后期可以从外部使用者对于更高的性能需求和成本进行基于经验的评估,有针对性地完善整个扫描电镜测试系统。
有多少人将使用该系统?用户是否受过培训?如果不是,他们愿意投入多少时间进行培训?台式扫描电镜的操作非常简单,样品制备流程非常简单,获取图像可以像点击几个按钮一样简单。具有特定需求的用户,只要投入一点时间进行培训,就可以访问更高的的程序。总的来说,台式扫描电镜对操作员培训的要求要低得多,而且系统本身更加稳定。而且设备耐使,不容易坏,潜在的维修成本也很低。
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