扫描电镜和透射电镜设备的不同点:高分辨率

扫描电镜和透射电镜设备的不同点：

　　高分辨率台式扫描电镜使用—组特定的线圈以光栅样式扫描样品并收集散射的电子。

　　透射电镜是使用透射电子，收集透过样品的电子。因此，透射电镜提供了样品的内部结构，如晶体结构，形态和应力状态信息，而扫描电镜则提供了样品表面及其组成的信息。

　　而且，这两种设备的差别之一是它们可以达到的空间分辨率;扫描电镜的分辨率被限制在～0.5nm，而随着近在球差校正透射电镜中的发展，已经报道了其空间分辨率甚至小于50pm。

全自动扫描电镜对样品的要求

1、试样在高真空中能保持稳定；

2、表面受到污染的试样，要在不破坏试样表面结构的前提下进行适当清洗，然后烘干。新断开的断口或断面，一般不需要进行处理，以免破坏断口或断面的结构状态；

　　有些试样的表面、断口需要进行适当的侵蚀，才能暴露某些结构细节，则在侵蚀后应将表面或断口清洗干净，然后烘干。

3、全自动扫描电镜用的试样大小要适合仪器样品座的尺寸，不能过大，样品座尺寸各仪器不均相同，以分别用来放置不同大小的试样，样品的高度也有一定的限制。

扫描电镜基本操作

需要熟悉的扫描电镜基本操作

基本操作包括熟练的调节对焦和消像散。对焦相对容易，改变焦距，直至图像清楚的时刻即为合焦。在偏离焦距较多的时候可以用较高的灵敏度，在合焦点附近调低灵敏度，以便进行准确对焦。

基本操作中消像散相对来说比较麻烦，特别是像散很大时，对于很多初学者来说调节比较困难。不过前面已经介绍了像散的产生，电子束由于不再是圆形，所以在像散未消除的情况下，图像是不清晰的。不过其中有两个特殊的位置，即光学中的子午和弧矢，在这两个位置上束斑完全成正交的直线。而明晰圆一般在弧矢和子午的中间。

有关拉伸方向的判断并不困难，试样中的各种特征点都可以作为判断依据，尤其在像散比较大时，不要焦距和像散的两个维度乱调一气，以免像散过大而完全无从判断。