二次电子像的衬度主要取决于试样的表面形貌
二次电子的发射率随原子序数的变化不是很明显,如图a所示,它主要取决于试样的表面形貌。它是入射电子与试样中核外电子碰撞,使试样表面的核外电子被激发出来所产生的电子。当这些代表试样表面结构特征的电子被相应的探测器收集后作为扫描电镜的成像信号,其所成的像就称为二次电子像。二次电子像的衬度主要取决干试样表面与入射电子束所构成的倾角,而对于表面有一定形貌的试样,其形貌被看成由许许多多与入射电子束构成不同倾斜角度的微小形貌,如凸点、尖峰、台阶、平面、凹坑、裂纹和孔洞等细节所组成。
二次电子像的阴影效应不明显
这些不同细节的部位发出的二次电子数各不相同,从而产生亮暗不一的衬度。由于二次电子的能量小,用 E-T探测器检测时,仅需在其前面的栅网上加几百伏的正电位,常施加的电位为+250~+300V,即通过该电位就可把试样上发射出来的大部分二次电子吸引过来,所以二次电子像的阴影效应不明显。在二次电子探测器所对应的立体角内也能接收到相应的一小部分背散射电子,所以在二次电子像中也包含了一小部分背散射电子的信息,如图b中对应的背散射电子成分像的一些衬度信息也能在图a中反映出来,只不过图a中所显现的原子序数的衬度没有像图b中那么明显而已。
单个用户可以根据常用功能设置相应的图标,营造快捷的操作环境
单个用户可以根据常用功能设置相应的图标,营造快捷的操作环境。用户登录时,即可加载已注册过的设定。画面上并列显示二次电子成像和背散射电子成像这两种实时图像。可同时观察样品的形貌和组成分布。适合于多种测量功能。可在观察图像上直接进行测量。也可将测量结果贴至SEM图像,保存在文件中。
分析型扫描电子显微镜配备两台监视器,一台用于SEM图像观察和另一台用于元素分析。一只通用鼠标即可同时控制两台监视器。大尺寸画面使操作更加简便。
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