台式扫描电镜由电子光学系统、信号收集及显示系统
台式扫描电镜由电子光学系统、信号收集及显示系统、真空系统及电源系统组成。
电子光学系统:电子光学系统由电子、电磁透镜、扫描线圈和样品室等部件组成。其作用是用来获得扫描电子束,作为使样品产生各种物理信号的激发源。
电子:其作用是利用阴极与阳极灯丝间的高压产生高能量的电子束。
电磁透镜:其作用是把电子的束斑逐渐聚焦缩小,使原来直径约50um的束斑缩小成一个只有数nm的细小束斑。
扫描线圈:其作用使电子束进入末级透镜强磁场区前就发生偏转。
如何选择高加速电压的缺点
加速电压越高入射电子束的波长越短,也就越容易得到高分辨力的图像,还有抗外部电磁场的干扰能力也会增强,也不易受到试样表层污染斑的影响,所以高的加速电压比较适合拍摄高倍率的图像。
选择高加速电压的缺点,所获得的图像会缺少表面信息和细节,易呈现高反差,特别是会明显变大边缘效应,使得到的图像欠柔和,也会使图像容易呈现生硬的感觉。另外,高的加速电压、大的束斑也容易造成试样的放电和损伤,以及图形的漂移。
灯丝达到工作温度及饱和度所需的加热电流
灯丝达到工作温度及饱和度所需的加热电流也随灯丝的变细而减小,其寿命也随加热温度的升高而降低。由于钨阴极自身温度升高,使之蒸发加快,阴极丝直径随着蒸发量的加大而变小,也随使用时间的增长而变得越来越细,导致阴极丝断开。
虽然提高灯丝的工作温度,即加大加热电流可能还能略微加大发射束流、增加一点亮度,但付出的代价将会是使灯丝寿命明显缩短;反之若适当地减小加热电流,则灯丝的工作寿命会相应延长。正常的灯丝加热电流应调在临界饱和状态,从而既可稳定地发射电流,又不至于影响其正常的工作寿命。
购买钨灯丝台式扫描电镜需要考虑哪些因素和细节吗?
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