扫描电镜的结构是什么?

扫描电镜的结构

扫描电镜是针对台式电镜设计的，本着台式电镜简单易用，利用半导体制冷，无需额外冷却系统，是一款具有处理所有类型材料能力的分析仪器，可以提供成像质量，配备X射线能谱仪接口，并有X射线几何设计，可对所有样品进行分析，对于非导体采用电子束衬管技术也提高了图像质量和分析精度。

　　扫描电镜***的X射线几何结构以及标配能谱仪和波谱仪，可变电压功能用于分析较少制备的非接触式样品，可移动的显微镜样品台用于观察大型样品，是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。扫描电镜的结构包括电子光学系统、图像显示和记录系统、真空系统、X射线能谱分析系统。

扫描电镜成功进入***制造领域

首先，电镜的分辨率是一项重要的参数， 台式扫描电镜大样品室版Phenom XL系列具有14nm的分辨率，能够为客户提供高质量的电子图像；

其次，电镜配置有双探头，能够呈现背散射图像和二次电子图像，为客户提供原子序数衬度图像和形貌衬度图像，满足不同的成像需求；

其三， 电镜对样品的导电性要求非常宽松，即使是不导电的样品，也可直接进行观察而不需喷金，这就大大扩宽了电镜的测试能力，为上述多类生物样品的观察创造了机会 ；

其四，台式扫描电镜大样品室版Phenom XL具有100mm*100mm*40mm的样品空间，可一次放置36个直径为半英寸的样品台，大幅提升测试效率。

台式扫描电镜在纺织材料中的应用

高分子材料一般具有较好的柔韧性，而功能材料多为陶瓷、金属、以及合金等刚性材料。功能性纺织材料正是将功能性和柔韧性相结合，以满足特殊的使用条件。

导电纤维通常是通过掺杂、沉积、形核生长等方法在高分子纤维表面形成导电层，但是如何评价镀层在纤维表面的分布状况呢，电镜为客户提供了十分契合的解决办法。

本次实验中心购进了型号为 Pure+ 的台式扫描电镜，配备的背散射探头能够呈现清晰的原子序数衬度图像，可为客户判断镀层分布均匀性提供可靠依据；此外，样品多为纤维状，直径主要分布在数百纳米至微米级别，台式扫描电镜标准升级版 Pure+ 具有 14nm 的分辨率，能够轻松获取样品表面细节。

台式扫描电镜符合工艺要求

台式扫描电镜基于新一代高亮度灯丝和全新的聚焦系统，分辨率轻松达到10 nm，同时具有全自动操作、15秒快速抽真空、不喷金观看绝缘体、2-3年更换灯丝等特点。传统电镜往往通过提高加速电压来产生更高的信号，同时由于穿透深度较深，导致表面细节缺失。低加速电压电子穿透深度浅，避免样品被破坏，展现更多表面细节；探测背散射电子，展现清晰形貌结构的同时，提供丰富的成份信息。

台式扫描电镜是扫描电镜能谱行业的一个里程碑，亮度10倍于钨灯丝的灯丝，不仅成为*分辨率的台式扫描电镜，同时也使X射线能谱仪提供更加准确、快速的元素分析。台式扫描电镜的背散射图像，首先从视觉上用不同的灰度呈现不同的元素，进一步利用SDDX射线探测器，就能轻松确认不同灰度区域元素的名称和含量，提供5-95号元素的点扫描，线扫描和面扫描三种分析模式。