在实际工作中以上这几个要点很难个个具备都能达到理想状态
在实际工作中以上这几个要点很难个个具备都能达到理想状态,但是作为一个的扫描电镜应用人员来说,应从多方面入手,综合考虑,如选好电镜的安装环境,尽自己的职责维护好设备和制备好试样,这都是操作人员应该做到的事。电镜参数的合理选择和熟练操作,是操作人员经过努力学习、不断积累经验而应能实现的目标。至于扫描电镜的型号和某些参数的优劣,这超出操作人员的能力范围,只要操作人员能发挥出现有电镜大的潜能,一般都能得到比较好的成像效果。当然,如果能有一台高亮度、高分辨的扫描电镜,那将会更理想。
空间角度分布与入射电子和试样表面的入射角有关
背散射电子的空间角度分布与入射电子和试样表面的入射角有关。高角度(>30°)的背散射像适宜于显示原子序数衬度;低角度(<30°)的背散射像适宜于显示试样表面的几何形貌衬度。在扫描电镜中,非弹性散射的背散射电子的能量分布范围很宽,从几十eV到几十千eV。从数量上看,弹性背散射电子所占的份额远比非弹性背散射电子多。
在扫描电镜中检测的试样,其准备工作十分简便。对导电体试样,可以不做任何预处理,只要其大小形状适合试样室,即可置入仪器试样室检测。对非导电体试样,则在置入试样室前,要在真空镀膜机中对其待测表面喷镀一薄层导电物质,常用的是金或碳。
扫描电子显微镜的功能
1、扫描电子显微镜追求固体物质高分辨的形貌,形态图像(二次电子探测器SEI)-形貌分析(表面几何形态,形状,尺寸)
2、显示化学成分的空间变化,基于化学成分的相鉴定---化学成分像分布,微区化学成分分析
1)用x射线能谱仪或波谱(EDS or WDS)采集特征X射线信号,生成与样品形貌相对应的,元素面分布图或者进行化学成分定性定量分析,相鉴定。
2)利用背散射电子(BSE)基于平均原子序数(一般和相对密度相关)反差,生成化学成分相的分布图像;
3)利用阴极荧光,基于某些痕量元素(如过渡金属元素,稀土元素等)受电子束激发的光强反差,生成的痕量元素分布图像。
若灯丝的加热电流偏小,未达到临界饱和点
若灯丝的加热电流偏小,未达到临界饱和点,则会使灯丝的温度偏低,发射束流偏小且不稳定,结果会导致亮度不足、图像的信噪比变差;若灯丝的加热电流刚好处在临界饱和点,则发射的束流既稳定,亮度又高,图像的信噪比又比较好;若加热的电流超过临界饱和点,则只会增加灯丝的温度,而发射束流不会有明显增加,但会明显缩短灯丝的寿命,这种情况下的阴极激发电极寿命可能只有30~40小时,寿命短的甚至不到20小时。
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