二次电子像的分辨力优于背散射像

二次电子主要是来自于距试样表面1~10nm之间深度的亚表面（试样表面0~1nm之间深度发出的电子主要为俄歇电子），二次电子能量在0~50eV之间，平均能量约30eV，所以这些二次电子能很好地显示出试样表面的微观形貌。由于入射电子仅经过几纳米的路径，还没有被多次反射和明显扩散，因此在入射电子照射的作用区内产生的二次电子区域与入射束的束斑直径差别不大，所以在同一台电镜中二次电子像的分辨能力。二次像的分辨力优于背散射像，背散射像的分辨力优于吸收电流像，吸收电流像的分辨力优于阴极荧光像。目前场发射和钨阴极电镜的二次电子像的分辨力都能分别优于1.0nm和3.0nm。一般情况下，扫描电镜的指标中所提及的图像分辨力，若没有特别说明，都是泛指二次电子像的分辨力。

台式扫描电镜图像的成像信息

在实际工作中要采集到一幅好照片，除了要有好的台式扫描电镜设备之外，选择合适的加速电压值也是很重要的一步。选择高、低不同的加速电压各有不同的优缺点，通常应根据试样的组分和分析目的的不同来考虑，即金属试样一般会选择较高的加速电压，轻元素组成的试样一般会选择较低的加速电压。

台式扫描电镜图像的成像信息来源越趋于表面，图像的表面细节就越显得丰富、细腻，特别是会明显减少边缘效应，使得到的图像显得更协调、柔和。另外，低加速电压、小束斑对试样表面的损伤小，不容易造成试样的荷电和图像的漂移，也会减轻对试样的损伤。

扫描电子显微镜SEM参数

扫描电子显微镜SEM 基本参数

放大率：通过控制扫描区域的大小来控制放大率的。如果需要更高的放大率，只需要扫描更小的一块面积就可以了。放大率由屏幕/照片面积除以扫描面积得到

场深：扫描电子显微镜SEM中，位于焦平面上下的一小层区域内的样品点都可以得到良好的会焦而成象。这一小层的厚度称为场深，通常为几纳米厚，所以，SEM可以用于纳米级样品的三维成像。

工作距离：工作距离指从物镜到样品高点的垂直距离。如果增加工作距离，可以在其他条件不变的情况下获得更大的场深。 如果减少工作距离，则可以在其他条件不变的情况下获得更高的分辨率。通常使用的工作距离在5毫米到10毫米之间。

钨灯丝台式扫描电镜的操作性能以及技术参数

看表面形貌，电子成像，亮的区域高，暗的区域低。非常薄的薄膜，背散射电子会造成假像。导电性差时，电子积聚也会造成假像。

钨灯丝台式扫描电镜性能是很多人关心的因素，所谓的性能包括两个因素，包括钨灯丝台式扫描电镜的操作性能以及技术参数。首先是操作性能，在设计机器的过程中操作性能是重要考察的因素，考验是设备部件之间的相互衔接，能否在测量的过程中更加的操作钨灯丝台式扫描电镜是影响设备性能的关键因素。不仅是钨灯丝台式扫描电镜操作性能，钨灯丝台式扫描电镜的测量技术参数也是不可忽视性能因素，看看台式扫描电镜的技术参数是否能够满足自己的测量的需求。