全自动扫描电镜对样品的要求

1、试样在高真空中能保持稳定；

2、表面受到污染的试样，要在不破坏试样表面结构的前提下进行适当清洗，然后烘干。新断开的断口或断面，一般不需要进行处理，以免破坏断口或断面的结构状态；

　　有些试样的表面、断口需要进行适当的侵蚀，才能暴露某些结构细节，则在侵蚀后应将表面或断口清洗干净，然后烘干。

3、全自动扫描电镜用的试样大小要适合仪器样品座的尺寸，不能过大，样品座尺寸各仪器不均相同，以分别用来放置不同大小的试样，样品的高度也有一定的限制。

扫描电镜成功进入***制造领域

首先，电镜的分辨率是一项重要的参数， 台式扫描电镜大样品室版Phenom XL系列具有14nm的分辨率，能够为客户提供高质量的电子图像；

其次，电镜配置有双探头，能够呈现背散射图像和二次电子图像，为客户提供原子序数衬度图像和形貌衬度图像，满足不同的成像需求；

其三， 电镜对样品的导电性要求非常宽松，即使是不导电的样品，也可直接进行观察而不需喷金，这就大大扩宽了电镜的测试能力，为上述多类生物样品的观察创造了机会 ；

其四，台式扫描电镜大样品室版Phenom XL具有100mm*100mm*40mm的样品空间，可一次放置36个直径为半英寸的样品台，大幅提升测试效率。

扫描电子显微镜的结构

扫描电子显微镜的结构

为透射电镜是TE进行成像的，这就要求样品的厚度一定要确保在电子束可以穿透的尺寸范围内。因此就需要通过各种较为繁杂的样品制备手段把大尺寸样品转变到透射电镜能给接受的程度。

　　可不可以直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像，成为科学家追求的目标。

　　通过努力，这种想法已成为现实——扫描电子显微镜(ScanningElectronicMicroscopy,SEM)。

　　扫描电子显微镜（SEM）——运用特别细的电子束在被观测样品表面上进行扫描，通过分别收集电子束和样品相互作用产生的一系列电子信息，通过转换、放大而成像的电子光学仪器。是探索研究三维表层构造很有帮助的工具。