扫描电镜对样品的要求

　　(1)样品必须是无毒、无性的物质，以保证工作人员的人身安全；

　　(2)样品可以是块状、片状、纤维状，也可以是颗粒或粉末状，无论是什么样的样品都不能是有机挥发物和含有水分，如果将含有水分的样品放在镜筒内能产生2种严重不良后果：一是当真空达不到要求强行通高压时，其产生的水蒸汽遭遇高能电子生电离而放电引起束流大幅度波动，使所成的像模糊，或根本不能成像；二是造成镜筒污染；三是损坏灯丝，当高能电压通过灯丝时，温度高达2000Ο，碰到水蒸汽而氧化变质或熔断，因此，应先烘干样品中的水分；

　　(3)无论是块状样品，还是粉末颗粒状样品，其化学、物理性质要稳定，在高真空中的电子束照射下，都要能保持成分稳定和形态不变；

　　(4)表面受到污染的样品，要在不破坏样品表面结构的前提下，进行适当清洗、烘干；

　　(5)无论是样品的表面，还是样品新断开的断口或断面，一般不需要进行处理，以保持全自动扫描电子显微镜原始的结构状态；

全自动扫描电镜的组成结构

全自动扫描电镜位于焦平面上下的一小层区域内的样品点都可以得到良好的会焦而成象，这一小层的厚度称为场深，通常为几纳米厚，所以可以用于纳米级样品的三维成像，工作距离指从物镜到样品高点的垂直距 离，如果增加工作距离，可以在其他条件不变的情况下获得更大的场深，如果减少工作距离，则可以在其他条件不变的情况下获得更高的分辨率。全自动扫描电镜电子和背散射电子可以用于成象，但后者不如前者，所 以通常使用次级电子。

由于电子束只能穿透样品表面很浅的一层，所以只能用于表面分析。表面分析以特征X射线分析常用，所用到的探测器有两种：能谱分析仪与波谱分析仪，前者速度快但精度不高，后者非常，可以检测到“痕 迹元素”的存在但耗时太长。全自动扫描电镜的组成结构，了解其组成结构有利于我们更加合理的使用扫描电镜，从而延长扫描电镜的使用寿命及提高操作

台式扫描电镜符合工艺要求

台式扫描电镜基于新一代高亮度灯丝和全新的聚焦系统，分辨率轻松达到10 nm，同时具有全自动操作、15秒快速抽真空、不喷金观看绝缘体、2-3年更换灯丝等特点。传统电镜往往通过提高加速电压来产生更高的信号，同时由于穿透深度较深，导致表面细节缺失。低加速电压电子穿透深度浅，避免样品被破坏，展现更多表面细节；探测背散射电子，展现清晰形貌结构的同时，提供丰富的成份信息。

台式扫描电镜是扫描电镜能谱行业的一个里程碑，亮度10倍于钨灯丝的灯丝，不仅成为*分辨率的台式扫描电镜，同时也使X射线能谱仪提供更加准确、快速的元素分析。台式扫描电镜的背散射图像，首先从视觉上用不同的灰度呈现不同的元素，进一步利用SDDX射线探测器，就能轻松确认不同灰度区域元素的名称和含量，提供5-95号元素的点扫描，线扫描和面扫描三种分析模式。