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天津普通透射电镜测试中心品牌企业「九鼎」
来源:2592作者:2021/11/12 19:13:00








描电镜和透射电镜对样品的要求

  1、扫描电镜

  扫描电镜制样对样品的厚度没有特殊要求,可以采用切、磨、抛光或解理等方法将特定剖面呈现出来,从而转化为可以观察的表面。这样的表面如果直接观察,看到的只有表面加工损伤,一般要利用不同的化学溶液进行择优腐蚀,才能产生有利于观察的衬度。不过腐蚀会使样品失去原结构的部分真实情况,同时引入部分人为的干扰,对样品中厚度的薄层来说,造成的误差更大。

  2、透射电镜

  由于透射电镜得到的显微图像的质量强烈依赖于样品的厚度,因此样品观测部位要非常的薄,例如存储器器件的透射电镜样品一般只能有10~100nm的厚度,这给透射电镜制样带来很大的难度。初学者在制样过程中用手工或者机械控制磨制的成品率不高,一旦过度削磨则使该样品报废。透射电镜制样的另一个问题是观测点的定位,一般的制样只能获得10mm量级的薄的观测范围,这在需要分析的时候,目标往往落在观测范围之外。目前比较理想的解决方法是通过聚焦离子束刻蚀(FIB)来进行精细加工。


全自动扫描电子显微镜是生产工艺中的关键设备

全自动扫描电子显微镜采用强大的ARM 32位嵌入式微处理器平台,内置的RISC指令系统,为严谨复杂的计算运行提供保障,宽大的彩色触摸显示屏、创新的WlNDOWS界面软件,存储量可多达1000组数据信息,可通过u盘、SD卡等移动设备将数据导出或通过USB、RS232接口直接连接PC。

全自动扫描电子显微镜保证整个测试过程能够在一个可控的恒定温度下进行,确保了测试结果的稳定性、准确性,标配高分辨率CCD传感器,通过的信号和分析处理技术,能够准确地完成各种样品的分析实验,高亮度LED光源,光色纯正,使用寿命超过100000小时。位于试样槽内的蓝宝石级棱镜,是普通棱镜耐磨损程度的30倍,巧妙的清洗设计,避免了常规清洗所带来的繁琐及棱镜划伤。


扫描电子显微镜知识介绍

在扫描电子显微镜当中,将电子束从左到右方向的扫描运动叫做行扫描或者称之为水平扫描,将电子束从上到下方向的扫描运动称之为帧扫描或者叫做垂直扫描。两者的扫描速度完全不一样,行扫描的速度比帧扫描的速度快,对于一千条线的扫描图象来将,速度比为一千。

  扫描电子显微镜的工作就是进入微观世界的工作。我们通常所说的微乎其微或者微不足道的东西,在微观世界当中,这个微也就不称其微,我们提出使用纳米作为显微技术中的常用度量单位,及1nm=10-6mm。

  扫描电子显微镜成像过程和电视成像过程有很多相似的地方,并且和透射电镜的成像原理完全不一样。透射电镜是利用成像电磁透镜一次成像,而扫描电镜的成像则不需要成象透镜,它的图象是按照一定时间、空间顺序逐点形成并且在镜体外显像管上显示。


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