高分辨率台式扫描电镜是一种大型精密仪器

　高分辨率台式扫描电镜由三大部分组成：真空系统，电子束系统以及成像系统，是一种大型精密仪器，它是机械学、光学、电子学、热学、材料学、真空技术等多门学科的综合应用。

　　真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。真空柱是一个密封的柱形容器，真空泵用来在真空柱内产生真空，有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类，机械泵加油扩散泵的组合可以满足真空要求，需要机械泵加涡轮分子泵的组合。成像系统和电子束系统均内置在真空柱中，真空柱底端即为右图所示的密封室，用于放置样品。

　　之所以要用真空，主要基于以下两点原因：电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效，所以除了在使用SEM时需要用真空以外，平时还需要以纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。为了增大电子的平均自由程，从而使得用于成像的电子更多。热发射电子需要电磁透镜来成束，所以在用热发射电子***的SEM上，电磁透镜*。

扫描电子显微镜的相关应用

扫描电子显微镜的相关应用

一点，扫描电子显微镜可以观察纳米材料：它具备很高的分辨率，能够观察组成材料的颗粒或者微晶尺寸在零点一至一百纳米范围里，在保持表面洁净的条件下加压成型而得到的固体材料。

　　其次第二点，材料断口的分析：扫描电子显微镜景深大，图象富立体感，并且具备有三维形态，可以从断口形貌呈现材料断裂的本质，在材料断裂原因的分析，事故原因的分析还有工艺合理性的判定等方面是一个强有力的手段。

　　第三点，直接观察大试样的原始表面：扫描电子显微镜可以直接观察直径一百毫米，高五十毫米，或更大尺寸的试样，对试样的形状无任何的限制，粗糙表面也可以进行观察，这样就免除了制备样品的麻烦，并且可以真实观察试样本身物质成分不同的衬度（背散射电子象）。

　　第四点，观察厚试样：它在观察厚试样的时候，可以得到高的分辨率会还有真实的形貌。

　　第五点，能够观察试样的各个区域的细节：试样在样品室中可动的范围十分大，能够在三度空间内有六个自由度运动（也就是三度空间平移、三度空间旋转），这对观察不规则形状试样的各个区域带来很大的便利。

扫描电镜在生物分类中的应用

物种分类的依据是生物在形态结构和生理功能等方面的特征，其中利用生物的形态分类是zui直接、zui快速和zui常用的方法。线虫一般呈现透明状，可以利用光学显微镜观察虫体结构来进行分类，有时为了便于观察，往往需要对线虫进行染色。

由于光学显微镜分辨率的限制，虫体表面细节很难在光镜下观察清楚，给线虫分类带来了较大困难。扫描电镜具有较大的放大倍数和分辨率，可以对样品表面进行观察，生物类样品经过前期固定、脱水、喷金等处理后，可以放入电镜中进行观察。

台式扫描电镜具有操作简单、成像速度快、寻找样品视野方便等特点，受到客户的青睐。聊城大学的师生利用台式扫描电镜，可以通过观察线虫表面角质层的形态进行分类，环纹的粗细程度、侧区是否有网纹、侧区外是否有纵脊或纵线等特征都是重要分类依据。

扫描电镜的应用

扫描电镜的应用 首先，扫描电镜应用是不是经常性的并且需求明确的？假如是这样，台式扫描电镜可以提供所需要的信息，为什么要花费更多？对于未来需求超过台式扫描电镜性能的担忧，应该依据潜在需求的确定性以及时机，还有对更高要求使用的外部资源可用性来进行评估。 　　就算以后需求超过台式扫描电镜能力，台式扫描电镜的初始投资也能够继续提供回报，由于这种系统可以使用于补充以后的落地式扫描电镜系统，比方说筛选样品或者接着执行日常分析，落地式扫描电镜使用于要求非常高的应用。 　　建立大型分析测试中心的时候，扫描电镜能够起到承上启下的功用，前期可以满足大多数的测试需求，后面能够从外部应用者对于更性能需求以及成本进行基于经验的评估，有针对性地完善整个扫描电镜测试系统。