扫描电镜电子探针显微分析仪基本原理

电子探针(EPMA)：它是在电子光学和 X 射线光谱学原理的基础上发展起来的一种、综合分析的仪器。

功能：在观察微观形貌的同时，进行微区成分分析。

原理：是用细聚焦电子束入射样品表面，激发出样品元素的特征 X射线，①分析特征 X 射线的波长（或特征能量），可对样品中所含元素的种类进行定性分析；②分析 X 射线的强度，则可对应元素含量进行定量分析。

构造：主机部分与 SEM 相同，只增加了检测X射线的信号的谱仪，用于检测X射线的特征波长或特征能量。

扫描电镜原理

扫描电镜是用电子束作为激发源，利用电子束撞击样品的表面，产生各种讯号来进行影像观察丶成分分析等各种工作。当电子束撞击样品时会产生二次电子与背散电子，由於二次电子能量很低，只有50eV左右，因此只有样品表面约5~10nm范围所产生的讯号能够逃离样品表面，而被二次电子侦测器侦测到。因此二次电子讯号可以做为样品表面立体凹凸影像观察的来源。而电子束束班很小，可以到达奈米级别，因此扫描电子显微镜的解析度可以达到奈米级别以上。

扫描电子显微镜主要功能

扫描电镜在成分分析方面主要有EDS能谱丶WDS波谱两种侦测器可以搭配。EDS能谱分析速度较快，元素检测极限约1000~2000ppm。WDS波谱分析速度较慢，但元素侦测极限较好，约在10~100ppm。EDS成分分析分析方法上面有三种模式可以选择。点分析：奈米范围内微小区域成分分析，可以帮助使用者做特定区域的分析。线扫描：可以观察扫描线段区域的成分变化。面扫描：可以观察各成分的2D分布状况。

在微观尺度下，许多尺规量测都是间接式的，扫描电微镜可以提供直接影像尺规量测，搭配适当的尺规量测标准件，量测结果具有相得的参考价值。

扫描电子显微镜拥有强大的影像放大功能，从5～1,000,000放大倍率。特殊的电子光学特性，让扫描电镜经拥有良好的景深。在各种景深位置，不产生失焦的状况，都能够观察到清晰的图像。