电子发射的电子束

扫描电镜的光学原理

电子发射的电子束被几个电磁透镜还原后，电子束到达样品并激发样品中的二次电子。探测器接收二次电子，通过信号处理调制显示器上的像素发光。由于电子束点的直径为纳米，显示器的像素超过100微米，因此这个像素在100微米以上发出的光代表样品上被电子束激发的区域发出的光。实现样品上该物点的放大。如果在样品的某个区域对电子束进行光栅扫描，并在时间和空间上对显示器像素的亮度进行相应的调制，就可以实现该样品区域微观形貌的放大成像。

块状样品的制备

对于块状导电样品，基本上不需要进行什么制备，只要其大小适合电镜样品底座尺寸大小，即可直接用导电胶带把样品黏结在样品底座上，放到扫描电镜中观察，为防止假象的存在，在放试样前应先将试样用或酒精等进行清洗，必要时用超声波清洗器进行清洗。对于块状的非导电样品或导电性较差的样品，要***行镀膜处理，否则，样品的表面会在高强度电子束作用下产生电荷堆积，影响入射电子束斑和样品发射的二次电子运动轨迹，使图像质量下降，因此这类样品要在观察前进行喷镀导电层的处理，在材料表面形成一层导电膜，避免样品表面的电荷积累，提高图象质量，并可防止样品的热损伤。

使用台式扫描电镜SEM注意事项

使用台式扫描电镜SEM给样品测量前，一定要进行抽真空处理，台式扫描电镜是靠电子束扫描物体表面来成像的。空气的存在会使电子束变形，影响扫描效果，因此要抽真空。 选择台式扫描电镜SEM的主要原因就在于台式扫描电镜SEM本身的质量优势、特点优势、使用优势和性能优势，如果大家想要在使用的过程当中，发挥这些优势的话，不仅要在选择台式扫描电镜SEM的时候保证质量和性能，还要在使用的时候保证使用方法的准确性