扫描电子显微镜的结构有哪些

扫描电子显微镜的结构

1、真空系统

成像系统和电子束系统均内置于真空柱中。真空柱的底部是密封室，也就是放置样品的地方。

之所以采用真空，主要基于以下两个原因：

电子束系统中的灯丝在普通大气中会很快氧化失效，所以使用SEM时除了真空外，通常还需要用纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。

为了增加电子的平均自由程，使更多的电子用于成像。

2. 电子束系统

电子束系统由电子和电磁透镜组成。主要用于产生能量分布很窄且具有一定电子能量的电子束，用于扫描成像。

环境对台式扫描电子显微镜产生的影响

1、灰尘的影响

　　如果台式扫描电子显微镜的导轨、镜头和电源等电子元件沾上了太多尘埃物质，就会对台式扫描电子显微镜的精度、成像造成严重影响，导致测量结果不准确，并且还会加快硬件的磨损，所以一定要定期清洁，注意卫生。

　　2、油污的影响

　　如果台式扫描电子显微镜的导轨、镜头、平面玻璃和电源等电子元件都不能沾染油污，会大大缩短仪器的使用寿命，在触摸台式扫描电子显微镜的时候要戴棉质手套。

　　3、光照的影响

　　台式扫描电子显微镜不能直接对着太阳直射，也不能放在阳台很强的位置，否则会影响台式扫描电子显微镜精度，长时间温度过高还会损坏台式扫描电子显微镜。

扫描电镜(SEM)测试常见问题

水溶液中的纳米粒子如何做透射电镜TEM？

透射电镜样品一定要在高真空中下检测，水溶液中的纳米粒子不能直接测。一般用一个微栅或铜网，把样品捞起来，然后放在样品预抽器中，烘干即可放入电镜里面测试。 如果样品的尺寸很小，只有几个纳米，选用无孔的碳膜来捞样品即可。

粉末状样品怎么做透射电镜TEM？

扫描电镜测试中粉末样品的制备多采用双面胶干法制样，和选用合适的溶液超声波湿法制样。分散剂在扫描电镜的样品制备中效果并不明显，有时会带来相反的作用，如干燥时析晶等。

EDS与XPS测试时采样深度的差别？

XPS采样深度为2-5nm，我想知道EDS采样深度大约1um、

台式扫描电镜连续观察

　　台式扫描电镜对于从高功率到低功率的连续观测，放大倍数的变化范围非常大，并且不经常需要焦点扫描电镜放大倍数范围广（连续可调5-20万倍），一次聚焦后可连续观察从高到低、从低到高，无需再聚焦，特别便于事故分析。

　　台式扫描电镜观察生物试样

　　因电子照射而发生试样的损伤和污染程度很小。扫描电镜同其他方式的电子显微镜比较，由于用于观察的电子探针电流小，电子探针的束斑尺寸小（通常为5nm到几十纳米），电子探针的能量也小（加速电压可以小到2KV）此外，它不会在固定处照射样品，而是通过光栅扫描照射样品因此，对一些生物样品进行观察是非常重要的，因为样品的损伤和污染程度都很小。