使用台式扫描电镜拍摄低倍图像方法

1、启动并放入样品，将真空抽至0.01并保持至开按钮常亮后，然后点击开按钮。

2、按照需要设定电压值。并将"光斑直径"调整至"粗"或者"中"，勾选"自适应"按钮，调整"亮度""对比度"，至出现较为明亮的图像。后粗调"聚焦"条，至显示较为清晰的图像，然后将样品台移动到想要拍照的样品上。

3、低倍数下有了较为清晰图像后。将倍数放大至大于要拍摄倍数后（比如要拍摄1000倍，放大至5000或10000），将"平均"点数切换至5，然后将光标放至"聚焦微调"圆钮上，缓慢滚动滚轮，调整至图像清晰位置。然后切换至"镜组配置"，依次调整四个"消像散"条，至图像清晰为止。

用台式扫描电镜拍几千倍的图可根据样品信号强度选择光斑直径中或者细来拍照。

块状样品的制备

对于块状导电样品，基本上不需要进行什么制备，只要其大小适合电镜样品底座尺寸大小，即可直接用导电胶带把样品黏结在样品底座上，放到扫描电镜中观察，为防止假象的存在，在放试样前应先将试样用或酒精等进行清洗，必要时用超声波清洗器进行清洗。对于块状的非导电样品或导电性较差的样品，要***行镀膜处理，否则，样品的表面会在高强度电子束作用下产生电荷堆积，影响入射电子束斑和样品发射的二次电子运动轨迹，使图像质量下降，因此这类样品要在观察前进行喷镀导电层的处理，在材料表面形成一层导电膜，避免样品表面的电荷积累，提高图象质量，并可防止样品的热损伤。

扫描电子显微镜(SEM)之样品处理的要求

扫描电子显微镜（SEM）之样品处理的要求

样品须为干燥。

水蒸气会加速电子阴极材料的挥发，从而大降低灯丝寿命；水蒸气会散射电子束，增加电子束能量分散，从而加大色差，降低分辨能力。

样品表面须导电。

在大多数情况下，初级电子束电荷数量都大于背散射电子和二次电子数量之和，因此多余的电子须导入地下，即样品表面电位须保持在0电位。如果样品表面不导电，或者样品接地线断裂，那么样品表面静电荷存在，使得表面负电势不断增加，出现充电效应，使图像畸变，入射电子束减速，此时样品如同一个电子平面镜。

在某些情况下，样品制备变成重要的考虑因素

若要检测观察弱反差机理，就须消除强反差机理（例如，形貌反差），否则很难检测到弱的反差。当希望EBSD背散射电子衍射反差，I和II型磁反差或其他弱反差机理时，磁性材料的磁畴特性须消除样品的形貌。采用化学抛光，电解抛光等，产生一个几乎消除形貌的镜面。