扫描电镜原理

扫描电镜是用电子束作为激发源，利用电子束撞击样品的表面，产生各种讯号来进行影像观察丶成分分析等各种工作。当电子束撞击样品时会产生二次电子与背散电子，由於二次电子能量很低，只有50eV左右，因此只有样品表面约5~10nm范围所产生的讯号能够逃离样品表面，而被二次电子侦测器侦测到。因此二次电子讯号可以做为样品表面立体凹凸影像观察的来源。而电子束束班很小，可以到达奈米级别，因此扫描电子显微镜的解析度可以达到奈米级别以上。

扫描电子显微镜的结构组成

1、真空系统

成像系统和电子束系统均内置于真空柱中。真空柱的底部是密封室，也就是放置样品的地方。

??之所以采用真空，主要基于以下两个原因：

? 电子束系统中的灯丝在普通大气中会很快氧化失效，所以使用SEM时除了真空外，通常还需要用纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。

??为了增加电子的平均自由程，使更多的电子用于成像。

2. 电子束系统

电子束系统由电子和电磁透镜组成。主要用于产生能量分布很窄且具有一定电子能量的电子束，用于扫描成像。

扫描电子显微镜的操作

扫描电子显微镜的操作 　　1. 安装样品 　　1) 按“Vent ”直至灯闪，对样品交换室放氮气，直至灯亮； 　　2) 松开样品交换室锁扣，打开样品交换室，取下原有的样品台，将已固定好样品的样品台，放到送样杆末端的卡抓内（注意：样品高度不能超过样品台高度，并且样品台下面的螺丝不能超过样品台下部凹槽的平面）； 　　3) 关闭样品交换室门，扣好锁扣； 　　4) 按“EVAC ”按钮，开始抽真空，“EVAC ”闪烁，待真空达到一定程度，“EVAC ”点亮； 　　5) 将送样杆放下至水平，向前轻推至送样杆完全进入样品室，无法再推动为止，确认“Hold ”灯点亮， 将送样杆向后轻轻拉回直至末端台阶露出导板外将送样杆竖起卡好。（注意：推拉送样杆时用力一定要沿送样杆轴线方向，以防损坏送样杆）

扫描电子显微镜（SEM）之化学方法制备样品

扫描电子显微镜（SEM）之化学方法制备样品 1、干燥：固定后通常采用临界点干燥法。其原理是：适当选择温度和压力，使液体达到临界状态(液态和气相间界面消失)，从而避免在干燥过程中由水的表面张力所造成的样品变形。对含水生物材料直接进行临界点干燥时，水的临界温度和压力不能过高(37.4℃，218帕)。通常用乙醇或等使材料脱水，再用一种中间介质，如醋酸戊酯，置换脱水剂，然后在临界点干燥器中用液体或固体二氧化碳、氟利昂13以及一氧化二氮等置换剂置换中间介质，进行临界干燥。 2、喷镀金属：将干燥的样品用导电性好的粘合剂或其他粘合剂粘在金属样品台上，然后放在真空蒸发器中喷镀一层50～300埃厚的金属膜，以提高样品的导电性和二次电子产额，改善图象质量，并且防止样品受热和辐射损伤。如果采用离子溅射镀膜机喷镀金属，可获得均匀的细颗粒薄金属镀层，提高扫描电子图象的质量。