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来源:2592作者:2021/12/10 6:51:00








扫描电镜SEM

扫描电镜SEM:电子束到达样品,激发样品中的二次电子,二次电子被探测器接收,通过信号处理并调制显示器上一个像素发光,由于电子束斑直径是纳米级别,而显示器的像素是100微米以上,这个100微米以上像素所发出的光,就代表样品上被电子束激发的区域所发出的光。实现样品上这个物点的放大。如果让电子束在样品的一定区域做光栅扫描,并且从几何排列上一一对应调制显示器的像素的亮度,便实现这个样品区域的放大成像。具体图像反差形成机制不讲。由于扫描电镜所观察的样品表面很粗糙,一般要求较大工作距离,这就要求扫描电镜物镜的焦距比较长,相应的相差系数较大,造成小束斑尺寸下的亮度限制,系统的空间分辨率一般比透射电镜低得多1-3纳米。但因为物镜焦距较长,图像景深比透射电镜高的多,主要用于样品表面形貌的观察,无法从表面揭示内部结构,除非破坏样品,例如聚焦离子束电子束扫描电镜FIB-SEM,可以层层观察内部结构。


使用台式扫描电镜SEM的原因

使用台式扫描电镜SEM的原因,主要是体积小,使用方便,减少占用空间的同时,让大家在使用仪器的时候变的更方便;在操作和维护的时候也非常简单,能够为使用者减少很多不必要的麻烦,同时也能让使用者在短时间内完成测量任务,从而让用户得到需求满足。使用台式扫描电镜SEM能够让使用者快速掌握被测物品的具体测量结果,帮助使用者做出正确的决定,从而让科研机构能够把握好的条件。


ZEM台式扫描电镜对样品的要求

  1、样品是无毒、无性的物质;

 2、样品可以是块状、片状、纤维状,也可以是颗粒或粉末状,无论是什么样的样品都不能是有机挥发物和含有水分,如果将含有水分的样品放在镜筒内能产生2种严重不良后果:一是当真空达不到要求强行通高压时,其产生的水蒸汽遭遇高能电子生电离而放电引起束流大幅度波动,使所成的像模糊,或根本不能成像;二是造成镜筒污染;三是损坏灯丝,当高能电压通过灯丝时,温度高达2000Ο,碰到水蒸汽而氧化变质或熔断,因此,应先烘干样品中的水分;

 3、无论是块状样品,还是粉末颗粒状样品,其化学、物理性质要稳定,在高真空中的电子束照射下,都要能保持成分稳定和形态不变;

  4、表面受到污染的样品,要在不破坏样品表面结构的前提下,进行适当清洗、烘干;

  5、无论是样品的表面,还是样品新断开的断口或断面,一般不需要进行处理,以保持全自动扫描电子显微镜原始的结构状态;


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