扫描电子显微镜(SEM)之样品处理的要求
扫描电子显微镜(SEM)之样品处理的要求
1、形貌形态,须耐高真空。
例如有些含水量很大的细胞,在真空中很快被抽干水分,细胞的形态也发生了改变,无法对各类型细胞进行区分;
2、样品表面不能含有有机油脂类污染物。
油污在电子束作用下容易分解成碳氢化物,对真空环境造成很大污染。样品表面细节被碳氢化合物遮盖;碳氢化合物降低了成像信号产量;碳氢化合物吸附在电子束光路引起很大象散;碳氢化合物被吸附在探测器晶体表面,降低探测器效率。对低加速电压的电子束干扰严重。
台式扫描电镜观察厚试样
台式扫描电镜可以获得高分辨率和真实的厚样品形貌扫描电子显微镜的分辨率介于光学显微镜和透射电子显微镜之间,但在比较厚样品的观察时,由于透射电子显微镜也采用层压法,层压的分辨率通常只有10nm,而且观察的不是样品本身。因此,用扫描电镜观察厚样品,获得样品的真实表面数据更为有利。
台式扫描电镜观察试样区域细节
试样在样品室中可动的范围非常大,而显微镜在其它方面的工作距离通常只有2-3cm,因此实际上,只有试样可以在二维空间中移动,但在台式扫描电子显微镜中是不同的由于工作距离大(可能大于20 mm)焦深大(比TEM大10倍)样品室的空间也很大因此,试样在三维空间(即三维平移、三维旋转)可以有六个自由度的运动而且具有较大的活动范围,便于观察不规则形状样品的各个区域。
扫描电子显微镜的特点有哪些
扫描电子显微镜的特点有哪些?
1 仪器分辨率较高, 通过二次电子象能够观察试样表面6nm左右的细节, 采用LaB6电子, 可以进一步提高到3nm。
2 仪器放大倍数变化范围大, 且能连续可调。因此可以根据需要选择大小不同的视场进行观察, 同时在高放大倍数下也可获得一般透射电镜较难达到的高亮度的清晰图像。
3 观察样品的景深大, 视场大, 图像富有立体感, 可直接观察起伏较大的粗糙表面和试样凹凸不平的金属断口象等, 使人具有亲临微观世界现场之感。
4 样品制备简单, 只要将块状或粉末状的样品稍加处理或不处理, 就可直接放到扫描电镜中进行观察, 因而更接近于物质的自然状态。
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