扫描电子显微镜(SEM)之样品处理的要求

扫描电子显微镜（SEM）之样品处理的要求 1、样品表面须导电。 在大多数情况下，初级电子束电荷数量都大于背散射电子和二次电子数量之和，因此多余的电子须导入地下，即样品表面电位须保持在0电位。如果样品表面不导电，或者样品接地线断裂，那么样品表面静电荷存在，使得表面负电势不断增加，出现充电效应，使图像畸变，入射电子束减速，此时样品如同一个电子平面镜。 2、在某些情况下，样品制备变成重要的考虑因素。 若要检测观察弱反差机理，就须消除强反差机理（例如，形貌反差），否则很难检测到弱的反差。当希望EBSD背散射电子衍射反差，I和II型磁反差或其他弱反差机理时，磁性材料的磁畴特性须消除样品的形貌。采用化学抛光，电解抛光等，产生一个几乎消除形貌的镜面。

电子发射的电子束

扫描电镜的光学原理

电子发射的电子束被几个电磁透镜还原后，电子束到达样品并激发样品中的二次电子。探测器接收二次电子，通过信号处理调制显示器上的像素发光。由于电子束点的直径为纳米，显示器的像素超过100微米，因此这个像素在100微米以上发出的光代表样品上被电子束激发的区域发出的光。实现样品上该物点的放大。如果在样品的某个区域对电子束进行光栅扫描，并在时间和空间上对显示器像素的亮度进行相应的调制，就可以实现该样品区域微观形貌的放大成像。

桌面扫描电镜的成像原理

1. 光学显微镜

光学显微镜主要由目镜、物镜、载物台和反射镜组成。目镜和物镜都是焦距不同的凸透镜。物镜凸透镜的焦距小于目镜凸透镜的焦距。物镜相当于投影仪的镜头，物体通过物镜变成倒置、放大的实像。目镜相当于普通的放大镜，实像通过目镜变成直立、放大的虚像。

从显微镜到人眼的物体都是倒置放大的虚像。镜子用于反射和照亮被观察的物体。镜子一般有两个反射面：一个是平面镜，在光线较强时使用；另一种是凹面镜，在光线较弱时使用，可以将光线会聚。

2.电子显微镜

电子显微镜是根据电子光学原理，利用电子束和电子透镜代替光束和光学透镜，从而可以在很高的放大倍数下对物质的精细结构进行成像的一种仪器。