扫描电子显微镜(SEM)之样品导电膜的制备技术

扫描电子显微镜（SEM）之样品导电膜的制备技术

理想膜层的特点

良好的导热和导电性能。

在3-4nm分辨率尺度内不显示其几何形貌特点，避免引入不必要的人为图像。

不管样品的表面形貌如何，覆盖在所有部位的膜层需要薄厚均匀。

膜层对样品明显的化学成分产生干扰，也不显着的改变从样品中发射的X射线强度。

这层膜主要增加样品表面的导电性能和导热性能，导电金属膜层的厚度普遍电位在1-10nm。

导电膜制备技术

在样品表面形成薄膜有多种方法，对于扫描电镜和X射线显微分析，只有热蒸发和离子溅射镀膜实用。

蒸发镀膜：许多金属和无机绝缘体在真空中被某种方法加热，当温升足够高蒸发气压达到1.3Pa以上时，就会迅速蒸发为单原子。

扫描电子显微镜(SEM)之化学方法制备样品

扫描电子显微镜（SEM）之化学方法制备样品

1、清洗：某些生物材料表面常附血液、细胞碎片、消化道内的食物残渣、细菌、及粘液等异物，掩盖着要观察的部位，因而，需要在固定之前用生理盐水或等渗缓冲液等把附着物清洗干净。亦可用5%碳酸钠冲洗或酶消化法去除这些异物。

　　2、固定：通常采用醛类(主要是和多聚甲醛)与双固定，也可用单固定。固定不仅可良好地保存组织细胞结构，而且能增加材料的导电性和二次电子产额，提高扫描电子显微图象的质量。这对高分辨扫描电子显微术是重要的。为增强这种效果，可用-单宁酸或是-珠叉二胼等反复处理材料，使其结合更多的重金属锇，这就是导电染色。

台式扫描电镜连续观察

　　台式扫描电镜对于从高功率到低功率的连续观测，放大倍数的变化范围非常大，并且不经常需要焦点扫描电镜放大倍数范围广（连续可调5-20万倍），一次聚焦后可连续观察从高到低、从低到高，无需再聚焦，特别便于事故分析。

　　台式扫描电镜观察生物试样

　　因电子照射而发生试样的损伤和污染程度很小。扫描电镜同其他方式的电子显微镜比较，由于用于观察的电子探针电流小，电子探针的束斑尺寸小（通常为5nm到几十纳米），电子探针的能量也小（加速电压可以小到2KV）此外，它不会在固定处照射样品，而是通过光栅扫描照射样品因此，对一些生物样品进行观察是非常重要的，因为样品的损伤和污染程度都很小。