装上波长色散X射线谱仪(WDX)或能量色散

可进行综合分析。装上波长色散X射线谱仪(WDX) 或能量色散X射线谱仪 (EDX) , 使具有电子探针的功能, 也能检测样品发出的反射电子、X射线、阴极荧光、透射电子、俄歇电子等。把扫描电镜扩大应用到各种显微的和微区的分析方式, 显示出了扫描电镜的多功能。另外, 还可以在观察形貌图象的同时, 对样品任选微区进行分析;装上半导体试样座附件, 通过电动势象放大器可以直接观察晶体管或集成电路中的PN结和微观缺陷。由于不少扫描电镜电子探针实现了电子计算机自动和半自动控制, 因而大大提高了定量分析的速度。

扫描电镜中入射电子束在样品上的扫描和显像管中

在扫描电镜中, 入射电子束在样品上的扫描和显像管中电子束在荧光屏上的扫描是用一个共同的扫描发生器控制的。这样就保证了入射电子束的扫描和显像管中电子束的扫描完全同步, 保证了样品上的"物点"与荧光屏上的"象点"在时间和空间上一一对应, 称其为"同步扫描"。一般扫描图象是由近100万个与物点一一对应的图象单元构成的, 正因为如此, 才使得扫描电镜除能显示一般的形貌外, 还能将样品局部范围内的化学元素、光、电、磁等性质的差异以二维图象形式显示。

如何提高体视显微镜的分辨率

近年来，随着生产和科学技术的发展，人们渴望探索微观世界，科学家们也在研究发明电子显微镜。同时，这些也受到德布罗意大利物质波的启发。如何提高体视显微镜的分辨率，首先从波的角度来看，波长越短，绕射现象就越不明显，为了提高影像分辨率，必须使用波长比可见光短得多的射线。

人们所说的电子显微镜通常使用增加颗粒速度的方法来提高分辨率。主要是通过加速电子来提高电子的动能，从而缩短电子的波长。如果加速电子使用的高压为u，只要能提高加速电压u，就能缩短电子射线的波长，即电子显微镜使用提高加速电压的方法来分辨率。