此方法适用于除去氧化膜或有机物。因为化学物质在硅片表面停留的时间比较短，对反应需要一定时间的清洗效果不好。在喷洗过程中所使用的化学试剂很少，对控制成本及环境保护有利。

随着集成电路制程工艺节点越来越***，对实际制造的几个环节也提出了新要求，清洗环节的重要性日益凸显。

清洗的关键性则是由于随着特征尺寸的不断缩小，半导体对杂质含量越来越敏感，而半导体制造中不可避免会引入一些颗粒、有机物、金属和氧化物等污染物。为了减少杂质对芯片良率的影响，实际生产中不仅仅需要提高单次的清洗效率，还需要在几乎所有制程前后都频繁的进行清洗，清洗步骤约占整体步骤的33%。

检查舱体内照明灯具工作正常：清洗机拥有视窗和内部照明灯具允许在循环过程中观察清洗机的性能。循环过程中需观察喷淋臂是否正常运行，无器械/托盘阻碍清洗机的性能。观察水流，确保无泡沫过多等迹象。

多功能清洗机该机特点

采用高压汽泡水浴清洗，清洗能力大、洗净率高且不损伤物料，物料经输送网带输送至喷淋段，喷淋清洗后至下道工序。

适用范围

适应于茎类蔬菜、瓜果等物料的清洗、除杂、输送，是餐馆、食堂、超市的选择。

公司于2008年通过了ISO9001质量管理体系认证和欧盟CE标准认证，先后与国外80多个国家合作，并与中国航发、大众、华为、小松机械、伊顿、沃德、长城、重汽、美利信、费斯托、中车、中航工业等企业达成长期战略合作关系。

旋转喷淋清洗机简介

旋转喷淋清洗机

·一键式操作，设备具有清洗、漂洗、风切、烘干整个过程全自动完成，无需人工干预；

·清洗批量大，可大量节省人工，清洗室装有可视化窗口，清洗室内装有照明灯泡，清洗过程一目了然；

·清洗后工件表面干燥，洁净度高，喷淋压力可调，720度喷淋，清洗无死角；

机械零部件清洗机散热片步进式喷淋清洗机定制

一、 主要参数（一道清洗+一道风切）：

1、清洗节拍：180S以上；

2、清洗压力：0.4Mpa以上；

3、装机功率约：15KW；

4、占地尺寸约： 1200 L *1500W*1500H（mm）；

二、 单工位旋转喷淋清洗机主要优势：

1、占地面积小，节约场地；

2、兼容性高，可兼容多种产品（无清洁度要求或清洁度要求较低）；

3、三级循环过滤，有效延长清洗液的使用时间；

4、储液槽外贴保温棉，节约能源；