激光清洗的方法主要可分为以下三类：

1. 激光干式清洗

采用激光辐射直接去污，激光被物体或污物颗粒吸收后，产生振动，从而使基体和污染物分离。激光干式清洗中污物粒子被去除方式主要有两种：一种是基体表面瞬时热膨胀，产生振动，使其表面吸附的粒子被去除。另一种是粒子本身的热膨胀而使粒子离开基体表面。

2. 激光湿式清洗

激光湿式清洗是先在待清洗的基体表面均匀覆盖一层液体介质膜，然后用激光辐射去污渍。根据介质膜和基体对激光的吸收情况，可将湿式清洗分为强基体吸收、强介质膜吸收和介质膜基体共同吸收。强基体吸收时，基体吸收激光能量后，将热量传递给液体介质膜，基体与液体界面处的液体层过热沸腾，液体层和污渍一起被去除。

3. 激光+惰性气体清洗

激光辐射的同时，用惰性气体吹向工件表面，当污染物从表面剥离后，就被气体远远吹离表面，避免清洁表面被污染和氧化。

激光清洗技术是利用纳秒或皮秒级的脉冲激光辐照待清洗的工件表面，使得工件表面在瞬间吸收聚焦的激光能量，形成急剧膨胀的等离子体（高度电离的不稳定气体），使其表面的油污、锈斑、粉尘渣、涂层、氧化层或膜层等发生气化或剥离，从而地清除表面附着物的清洁方式。在工业应用领域，激光清洗对象分为基材和清洗物两部分，基材主要有各种金属、半导体晶片、陶瓷、磁性材料、塑料和光学部件等材料的表面污染层，清洗物主要包括面向工业领域的除锈、除漆、除油污、除膜层/氧化层及清理树脂、胶、粉尘渣等广泛应用需求。

激光清洗的应用现状

石雕和石刻等年代久远的石质艺术品，由于其极精细和易损的表面结构，成为激光清洗技术应用早的领域。人们发现，用激光清除石质表面的污垢有其的优势，它能够十分地控制光束在复杂的表面上移动，清除污垢而不损伤石材。例如:1992年9月联合国教科文组织所属的世界文化遗产保护组织为纪念该组织创建二十周年，实施了对的英国亚明大教堂的维修工程。亚明大教堂西侧的圣母门上精美的大理石雕刻是工程的关键。在为期一年的圣母门维修工程中，维修人员借助于激光，用激光光束除去了覆盖在大理石雕刻花纹上几毫米厚的黑色垢层，大理石表面原来的色泽体现出来，使精美的雕刻重现光彩。又如：英国重要的石雕收藏处之一的英斯布伦蒂尔的石雕收藏品经激光清洗后，也得到了同样的效果。人们用电子显微镜观察激光清洗后的石雕表面，发现激光清洗后石头的结构没有变化。