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半导体产业因其生产工艺复杂 、加工精细 ,它不仅要求有洁净的生产环境 , 而且对生产过程中所需的各种高纯气体有特定的、严格的要求。
从微米 技术进入亚微米 、深亚微米 (小于0.35um )技术,对高纯二氧化碳生产厂家气体中的杂质含量、水含量要求极为严格 ,10-6 (ppm 级 ) 已经不能达到要求。
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