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所有高纯二氧化碳价格表体均需通过管路输送到设备用点(POU),为了达到工艺对气体的质量要求,在高纯二氧化碳价格表气体出口指标一定的情况下,则更需重视配管系统的材料选用和施工质量。
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半导体产业因其生产工艺复杂 、加工精细 ,它不仅要求有洁净的生产环境 , 而且对生产过程中所需的各种高纯气体有特定的、严格的要求。
从微米 技术进入亚微米 、深亚微米 (小于0.35um )技术,对高纯二氧化碳价格表气体中的杂质含量、水含量要求极为严格 ,10-6 (ppm 级 ) 已经不能达到要求。
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高纯二氧化碳价格表管道阀门及连接一般会采用法兰连接,下面随着我一起来了解一下吧,希望下面的信息可以给你带来帮助!
高纯二氧化碳价格表纯度在 99.9999%以内的气体管道 ,采用304 不锈钢球 阀,可以采用法兰连接 ,法兰垫片为软金属垫片、聚四氟乙烯垫片、总杂质含量≤10ppm的气体管道, 采用用隔膜阀和波纹管阀。
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1、有***高纯二氧化碳价格表仓库贮存。气瓶仓库应通风干燥、清洁, 避免阳光直射, 气瓶库应清楚明“气瓶贮存”字样, 显示适当的危险标记(例如有毒等) 。
2、禁止高纯氧、空气和可燃气体混装。同时, 严禁烟火, 高纯二氧化碳价格表运输工具上应备有灭火器材。一般高纯二氧化碳价格表气体供应系统目前主要有三种形式:
1. 现场制高纯二氧化碳价格表,管道输送供气;
2.外购液态高纯二氧化碳价格表气体,气化后管道输送供气;
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