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上海激光对中仪原理即时留言「多图」
来源:2592作者:2022/7/6 18:19:00






CCD上,黄条码使ccD产生光电流,

当望远镜照准标尺后,标尺上某

-段的条码就成象在线阵

视距在.

于模数转换(AD)后,得到不同的灰度值。

随条码宽窄的改变,光电液强度也变化。将它进行

橫坐标是CCD

上数素的线阵cCD.视距和视线高的信息的测量信霜在差呢?

员容易理解的方式来说

度波的相位差呢?下文用测量人

如何从上述测量信号中求出A和B两英

而且横坐标尺寸已放大到和标尺尺寸一

明。设想纵坐标的灰度值就是表示弄

亮度大小的十进位数字,

曲线抵合,就可由得到A波的振幅和

明。我们用一波长为600的正弦曲线中的离散

灰度值

振幅和初相位. 我们对振幅

初相位。再用波长为570mm的正弦曲线,

就可由得到B波的

;不同次数的测量中也不同,对我们求视线高

尔想的兴盘,因为随着标尺上的照度不同,指幅在

之差就是高度数据。不过这是与ccD上个象

无关紧要。我们求出的A和B

;两亮度波的初相位之差就是

中点象素上的相位差,这就好象是

素对应的位置

到标尺底端面的高度。我们不难把它换算成CD

中丝读数。





?测量原理和方法

平面度误差是指被测实际表面对其理想平面的变动量。常用测量方法有:激光干涉仪,电

子水平仪,自准直仪,平晶法,打表法等。大中尺寸平面度测量常采用自准直仪、激光干涉仪、

电子水平仪,小尺寸平面度测量常用平晶法测量。本文讲述采用对角线法,利用激光干涉仪测

量直线运动过程中的小角度,以二乘法计算测量结果,间接得出被测平面的平面度误差。

对角线法又称米字法,在平面度测量时,若激光干涉仪主机位于G点,激光束与线GE重

合,建议按照EA、CA、DH、EG、AG、BF、CE、GC的次序进行测量。






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