无尘室/洁净室基本工作原理：

1.净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造，其特点为美观、刚性强。圆弧墙角、门、窗框等一般采用***氧化铝型材制造

2.地面可采用环氧自流坪地坪或***耐磨塑料地板，有防静电要求的，可选用防静电型。

3.送回风管道用热渡锌板制成，贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板。

4.高1效送风口用不锈钢框架，美观清洁，冲孔网板用烤漆铝板，不生锈不粘尘，宜清洁

无尘室改造净化参数

换气次数：100000级≥15次；10000级≥20次；1000≥30次。压差：主车间对相邻房间≥5Pa

平均风速：10级、100级0.3－0.5m/s；温度 冬季＞16℃；夏季 ＜26℃；波动±2℃。

湿度45－65％；GMP***车间湿度在50％左右为宜；电子车间湿度略高以免产生静电。

噪声≤65dB（A）；新风补充量是总送风量的10％－30％；照度300LX

净化原理

qi流→初效净化→空调→中效净化→风机送风→管道→高1效净化风口→吹入房间→带走尘埃细jun

等颗粒 → 回风百叶窗→初效净化 重复以上过程，即可达到净化目的

4.2AMC控制的实施情况

对线宽0.25μm的IC生产，一般已常在新风处理中设活性炭过滤器；有关关键工序以及工序间园片的传送及存放，有的生产厂采取了AMC控制，有的生产厂则并未进行控制，主要在于经济效果的衡量上，有关具体控制要求及措施报道甚少见，可能是由于保密的原因，但一点可以肯定，只能在局部环境内进行控制。2、地坪漆在15℃以上施工时，勿需活化期，甲、乙混合搅匀后，即可施工。

为满足φ300mm园片，＜0.15mm线宽的加工要求，近年来对AMC控制，重点在以下三方面开展工作：

（1）精que的测量技术及标准测试方法的建立。因为这是掌握AMC控制的基础，必须***；

（2）按今后IC的生产要求，生产线的设备采用微环境隔离，各设备间园片的传送采用前开式标准片盒（FOUPs）系统，对园片进行隔离。六、地坪保养施工结束，把现场交给客户时，应向客户提醒如下保养及维护方法，以便能保持地面良好的质量状态。因此，早已对设备、FOUPs系统及微环境所用的材料要求不释放及吸附有关悬浮分子污染物的问题以及对此污染物的去除措施进行研发，并不断改进中；

（3）控制AMC的过滤器。

近年来尤其是近2～3年来，对控制AMC过滤器的开发及推出有少进展；

A.不释放AMC物质的HEPA/ULPA；

a.低硼超细玻璃纤维过滤器，现已在亚洲及欧洲的IC厂使用较多；

b.多孔聚四氟乙稀（ePTFE）过滤器，为薄膜结构，价格比a要高出十倍左右。目前使用尚不多，正在开发下一代的。

B.化学过滤器