无尘车间垂直层流式方向要保持均一气流必须：

(a)吹出面的风速不可有速度上的差异；

(b)地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高(0.2m/s，0.7m/s)均有涡流之现象发生，而0.5m/s之速度，气流则较均一，目前一般超净间，其风速均取在0.25~0.5m/s之间。

     影响无尘车间的气流因素很多，如制程设备、人员、超净间组装材、照明器具等，同时对于生产设备上方气流的分流点，亦应列入考虑因素。