光学微电子净化工程解决方案:

 2、光学微电子行业净化工程设计方案分析之水冷柜机+增压风柜+***送风口

优点：

　　A.空气处理效果较好的，处理过后的空气在送风过程中被污染程度低。送风的温度、湿度控制效果可以达到较好的控制。主要在空气处理机组(增压风柜)里进行控制;

　　B.布置灵活。自带冷源;

　　C.大小厂房、新旧厂房都适用;

　　D.维修频率较低;E.车间噪音低。

PCB厂内层无尘室里的湿度洁净是多少

相对湿度是洁净室运作过程中一个常用的环境控制条件。半导体洁净室中的典型的相对湿度的目标值大约控制在30至50%的范围内，允许误差在±1%的狭窄的范围内，例如光刻区──或者在远紫外线处理（DUV）区甚至更小──而在其他地方则可以放松到±5%的范围内。净化工程原理：乱流洁净室乱流洁净室的主要特点是从来流到出流(从送风口到回风口)之间气流的流通截面是变化的，洁净室截面比送风口截面大得多，因而不能在全室截面或者在全室工作区截面形成匀速气流。

   这些年里，在这些规定范围中保持处理空气过程，使我们必需承担资金和营运费用。但是为什么值得花费这么多钱用在洁净室中控制相对湿度呢？

   道理很简单！因为相对湿度有一系列可能使洁净室总体表现下降的因素，其中包括：

   细菌生长；

   工作人员感到室温舒适的范围；

   出现静电荷；

   金属腐蚀；

   水汽冷凝；

   光刻的退化；

   吸水性。

   细菌和其他生物污染（霉菌，病毒，真菌，螨虫）在相对湿度超过60%的环境中可以活跃地繁殖。一些菌群在相对湿度超过30%时就可以增长。在相对湿度处于40%至60%的范围之间时，可以使细菌的影响以及呼吸道***降至***1、低。

   相对湿度在40%至60%的范围同样也是人类感觉舒适的适度范围。湿度过高会使人觉得气闷，而湿度低于30%则会让人感觉干燥，皮肤皲裂，呼吸道不适以及情感上的不快。

   高湿度实际上减小了洁净室表面的静电荷积累──这是人们希望的结果。较低的湿度比较适合电荷的积累并成为潜在的具有破坏性的静电释放源。当相对湿度超过 50%时，静电荷开始迅速消散，但是当相对湿度小于30%时，它们可以在绝缘体或者未接地的表面上持续存在很长一段时间。净化工程解决方案：在加湿问题上还有一个应注意的问题就是空调器内空气流动带水的问题。

   相对湿度在35%到40%之间可以作为一个令人满意的折中，半导体洁净室一般都使用额外的控制装置以限制静电荷的积累。

   很多化学反应的速度，包括腐蚀过程，将随着相对湿度的***而加快。所有暴露在洁净室周围空气中的表面都很快地被覆盖上至少一层单分子层的水。当这些表面是由可以与水反应的薄金属涂层组成时，高湿度可以使反应加速。幸运的是，一些金属，例如铝，可以与水形成一层保护型的氧化物，并阻止进一步的氧化反应；但另一种情况是，例如氧化铜，是不具有保护能力的，因此，在高湿度的环境中，铜制表面更容易受到腐蚀。国外洁净室的强度要求极高，例如美国关于洁净室的几个标准的要求是。

   在相对湿度较高的环境中，浓缩水形的毛细管力在颗粒和表面之间形成了连接键，可以增加颗粒与硅质表面的黏附力。这种效应──凯尔文浓缩──当相对湿度小于50%时并不重要，但当相对湿度在70%左右时，就成为颗粒之间黏附的主要力量。

   到目前为止，在半导体洁净室中***迫切需要适度控制的是光刻胶的敏感性。由于光刻胶对相对湿度极为敏感的特性，它对相对湿度的控制范围的要求是***严格的。

   实际上，相对湿度和温度对于光刻胶稳定性以及精1、确的尺寸控制都是很关键的。甚至是在恒温条件下，光刻胶的粘性将随着相对湿度的上升而迅速下降。当然，改变粘性，就会改变由固定组分涂层形成的保护膜的厚度。参考两个城市，一个试验证实，相对湿度的3%的变异将使保护厚度改变59.2 A 。净化工程中空气净化处理方案：净化工程中各级空气洁净度的空气净化处理，均应采用初效、中效、高1效空气过滤器三级过滤。

   此外，在高的相对湿度环境下，由于水分的吸收，使烘烤循环后光刻胶膨胀加重。光刻胶附着力同样也可以受到较高的相对湿度的***影响；较低的相对湿度（约30%）使光刻胶附着更加容易，甚至不需要聚合改性剂，如六***二硅氮烷（HMDS）。

   在半导体洁净室中控制相对湿度不是随意的。但是，随着时间的变化，***、1好回顾一下常见的被普遍接受的实践的原因和基础。

     在太空中空气的清洁对于航天员的生命健康举足轻重。一般来说，***舱内空间较小、密闭性***，航天员以及舱内的非金属材料和仪器设备又随时都在挥发各种有害性气体，这就要求“环控生保”分系统必须采取有效措施，严格控制舱内的有害气体，保障空气质量。因为相对湿度有一系列可能使洁净室总体表现下降的因素，其中包括：细菌生长。

     中国航天员科研训练中心环控生保研究室主任董文平介绍说，此次神九任务航天员首、1次在天宫一号(微博)神舟九号组合体驻留十日之久，且组合体空间仅有60立方米，做到净化舱内空气，需要解决三方面的问题。一是净化航天员呼吸产生的二氧化碳。二氧化碳是座舱大气净化的重点，浓度过高就会危及航天员的健康与安全。通常要求舱内二氧化碳分压不得大于1千帕，达到2千帕则应报警。二是微量有害气体，是在密闭情况下，船舱内的非金属材料挥发出的，船舱密闭时间越久，有害气体浓度越高。在一间没有任何障碍物的空房间，单向流用比前面提到的低得多的风速，就可以很快将污染物清除。第三个是大气本身含有的颗粒物或者微生物。