光学微电子净化工程解决方案:

 2、光学微电子行业净化工程设计方案分析之水冷柜机+增压风柜+***送风口

优点：

　　A.空气处理效果较好的，处理过后的空气在送风过程中被污染程度低。送风的温度、湿度控制效果可以达到较好的控制。主要在空气处理机组(增压风柜)里进行控制;

　　B.布置灵活。自带冷源;

　　C.大小厂房、新旧厂房都适用;

　　D.维修频率较低;E.车间噪音低。

　　3、光学微电子行业净化工程设计方案分析之分体空调柜机++FFU送风口

　　这是简易的一个空调方案。是直接将分体空调柜机布置于车间内，并用彩钢围护起来，在柜机回风口处再在彩钢板上开回风口(带初效过滤网);KLC风机过滤单元FFU均匀布置于吊顶天花。这个方案适用于对室内温湿度精度要求不高的无尘车间。