一、洁净室的空气洁净度,应进行下列测试
(一)空态、静态测试
空态测试:洁净室已竣工,净化空气调节系统已处于正常运行状态,室内没有工艺设备和生产人员的情况下进行测试。
静态测试:洁净室净化空气调节系统已处于正常运行状态,工艺设备已安装,室内没有生产人员的情况下进行测试。
(二)动态测试洁净室已处于正常生产状态下进行测试。
洁净室的风量、风速、正压、温度、湿度、噪声的检测,可按一般通用、空气调节的有关规定执行。
2.19气闸(Air lock)
设置在无尘车间洁净室的出入口,为阻隔室外或邻室污染气流及控制压差而设置的小室,它和缓冲室***的区别是无洁净送风。
?【参考】 气闸是指具有两扇门的密闭空间,在同一时间内只能打开一扇,其目的是当人需要进出时,犹如空气闸门将房间之间的气流加以控制。
?【参考】 压力控制是防止污染渗入的有效措施,有时当洁净室无尘车间两侧需要的压差太大而又难以达到,可以设置气闸。
2.20空气吹淋室(Air shower)
利用高速洁净气流吹淋并清除进入无尘车间洁净室的人员服装表面所附着的微粒的装置。
2.21缓冲室(Buffer room)
面积应不小于2 m2,宜不小于3m3,进出的门不应同时开启,送洁净风并达到与之进入的无尘车间洁净室区域同级(但不超过1000级)的小室。比气闸室更有效。
综合性能评定
*9.1工程验收、重新开工运行、系统有重大变动时应有第三方有资质的检测机构出具的对洁净室(区)综合性能评定的检测报告,其他检测不在此限。 检测项目应不少于以下所列:
截面风速(单向流洁净室)、换气次数(非单向流洁净室)、静压差和洞口风速、送风和排风过滤器现场扫描检漏、洁净度级别、温度(有恒温要求的还有恒温精度)、相对湿度(有恒湿要求的还有恒湿精度)、噪声、照度、新风量、沉降菌或浮游菌的菌落数。仅含有大量粉尘的排风,排风管上应有除尘设备,确保排风浓度达标。 ?【检查方法】查阅检验报告。
?【结果处理】检验报告***少应具有国家计量认证的两个标徽CMA和CAL。再具有实验室认可认证的标徽CNAS则可以国际互认。检测项目不全者必须重测。
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