超净间(Clean Room)，亦称为无尘室或无尘车间。「超净间」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细1菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。这对于面积较大的无尘车间天棚会产生一定的压力，使棚顶出现微小缝隙，影响净化效果。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。 超净间***之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为无尘车间「超净间」。

     万级洁净室亦称为无尘室或无尘车间。它是污染控制的基础。1、三级生物（无尘车间）安全实验室主实验室相对于大气的***1小负压不得小于-30Pa，四级生物（无尘车间）安全实验室主实验室相对于大气的***1小负压不得小于-50Pa。没有无尘车间，污染敏感零件不可能批量生产。在 FED-STD-2里面，无尘车间被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间，其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘车间是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细1菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。对于多少钱一平方的说法，昆山清阳净化系统工程有限公司认为没有准确的定义。

      主要是看你选择的无尘车间各类材料及设备的品牌的定位吧，有一些是g端的，而且也有执行的标准不一样，世界各个国家都有他们自己的规定，根据美国联邦政1府的就是可以分为六级分为1、10、100、1000、10000、100000这六级，如果是无尘室的话，等级只是用于尘粒数目的叙述，但是就不代表颗粒的数目。无尘车间的复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。如果假设尘粒的尺寸是0.5μm，那么，1级、10级、100级无尘室***1大尘粒数目分别小于或等于1颗、10颗、100颗，如果尘粒尺寸不是0.5μm，无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。

      至于那个检测标准也是有所不同的，他们有根据气流去检测的称为气流速度及其均匀度检测，也有系统或房间的风量检测、室内洁净度的检测、自净时间的检测、噪声的检测、气流流型检测、振动检测、温度和湿度检测以及总风量和新风量的检测。

      随着无尘车间的广泛使用，对于无尘车间高1效过滤器安装后进行现场检漏的要求越来越多，而实际上根据《洁净室施工及验收规范》（JGJ71-90）的条文，进行高1效过滤器的安装现场检漏，还有许多问题需要探讨。

   1　目的和原理

   高1效过滤器现场安装以后检漏是确认高1效过滤器及配套的安装静压箱，没有发现泄漏或微量泄漏是在规范允许的范围之内。如果高1效过滤器装置经检漏是合格的，可以确保洁净室的***的运行，如此时室内洁净度仍未达标，应从洁净室的其它方面查找原因。

    高1效过滤器安装后的检漏不同于过滤器厂家在工厂里的效率测试。后者仅对过滤器的效率和其它相关性能测试，而前者涉及高1效过滤器和安装过程中相关的多种因素而产生的泄漏。