无尘室工程洁净度气流分布

无尘室工程按等级划分洁净室被分为10到10万级，然而针对于洁净室级别来说，和其他的数字理解方式是不一样的。其他的数字越大，级别越高；洁净室行业是数字越小级别越高。洁净室是由：空调暖通系统、内部装修系统、配电系统所组成。3、运行状态无尘室通常称为动态无尘室，是指正常运行、人员进行工作时的无尘室。洁净室是由初效（G）——中效（F）——高1效（H）三级过滤后输入气流于洁净室内，然后由回风口到管道内，然后进行净化这样一直循环的原理。

无尘室工程要想达到稳定性，室内的气流必须保持一致，若如气流无法保持一致，在风速有异的情况下，洁净室内就会产生乱流，无法控制洁净室的稳定性。这样就会对无尘室施工内净化级别有影响。导致洁净室内气流不一致的原因可能是：

1、人在洁净室内的活动；

2、FFU或高1效出风口出风速度不一致。

在洁净室内配套设施尽量用不锈钢材质的，不锈钢材质不易起尘、具有强耐腐蚀性。

4.2AMC控制的实施情况

对线宽0.25μm的IC生产，一般已常在新风处理中设活性炭过滤器；11、穿线管的选择穿线管应选择一定的大小(粗细)，不但要能使导线穿得进，而且要留有足够的空隙，使导线在通过大电流时产生的热量能散发掉。有关关键工序以及工序间园片的传送及存放，有的生产厂采取了AMC控制，有的生产厂则并未进行控制，主要在于经济效果的衡量上，有关具体控制要求及措施报道甚少见，可能是由于保密的原因，但一点可以肯定，只能在局部环境内进行控制。

为满足φ300mm园片，＜0.15mm线宽的加工要求，近年来对AMC控制，重点在以下三方面开展工作：

（1）精que的测量技术及标准测试方法的建立。因为这是掌握AMC控制的基础，必须***；

（2）按今后IC的生产要求，生产线的设备采用微环境隔离，各设备间园片的传送采用前开式标准片盒（FOUPs）系统，对园片进行隔离。因此，早已对设备、FOUPs系统及微环境所用的材料要求不释放及吸附有关悬浮分子污染物的问题以及对此污染物的去除措施进行研发，并不断改进中；ISO5级（100级）洁净室成本是ISO6级（1,000级）洁净室的两倍。

（3）控制AMC的过滤器。

近年来尤其是近2～3年来，对控制AMC过滤器的开发及推出有少进展；

A.不释放AMC物质的HEPA/ULPA；

a.低硼超细玻璃纤维过滤器，现已在亚洲及欧洲的IC厂使用较多；

b.多孔聚四氟乙稀（ePTFE）过滤器，为薄膜结构，价格比a要高出十倍左右。目前使用尚不多，正在开发下一代的。

B.化学过滤器