不同的抛光工艺需要不同的研磨液,所以研磨液通常是针对特殊应用进行处理和配置的,在化学机械抛光过程中起着重要的作用,其中的化学物质会与表面膜或研磨发生化学反应,使表面膜溶解或形成化合物,研磨颗粒会机械摩擦晶片表面,去除表面的薄膜,以使我们达到所需的研磨效果。
研磨液在加工中的主要作用
1、润滑。研磨液中润滑的耐高温高压性可以减少磨粒与研磨表面的摩擦,起到润滑的作用。
2、悬浮作用。研磨液可以吸附在固定颗粒表面,产生足够高的屏障,使颗粒分散悬浮。
3、破坏性作用。碱与硅之间的化学反应减少了后处理工序中的处理量,增加了板材产量,降低成本。
4、冷却效果、可冷却性和润滑性可以一起使用,相辅相成,获得***的使用效果。
5、清洁。选择合适的表面活性剂,用大稀释比水溶解,大大提高清洁效果,使研磨产品不会形成难以清洁的表面吸附。
6、防锈。这是研磨液本身的作用。
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