zui近光刻机和蚀刻机一直都是当前zui热的话题，可以说光刻机是芯片制造的魂，蚀刻机是芯片制造的魄，要想制造的芯片，这两个东西都必须。    这俩机器zui简单的解释就是光刻机把电路图投影到覆盖有光刻胶的硅片上面，刻蚀机再把刚才画了电路图的硅片上的多余电路图腐蚀掉，这样看起来似乎没什么难的，但是有一个形象的比喻，每一块芯片上面的电路结构放大无数倍来看比整个北京都复杂，这就是这光刻和蚀刻的难度。    光刻的过程就是现在制作好的硅圆表面涂上一层光刻胶（一种可以被光腐蚀的胶状物质），接下来通过光线（工艺难度紫外光＜深紫外光＜极紫外光）透过掩膜照射到硅圆表面（类似投影），因为光刻胶的覆盖，照射到的部分被腐蚀掉，没有光照的部分被留下来，这部分便是需要的电路结构。    蚀刻分为两种，一种是干刻，一种是湿刻（目前主流），顾名思义，湿刻就是过程中有水加入，将上面经过光刻的晶圆与特定的化学溶液反应，去掉不需要的部分，剩下的便是电路结构了，干刻目前还没有实现商业量产，其原理是通过等离子体代替化学溶液，去除不需要的硅圆部分。

蚀刻机产业的全新时代

初蚀刻机产业链也是由生产率低，资产缺少，导致企业发展比较缓慢停滞不前。可是中国人是顽强的，不甘人下。认真学习生产技术，参考海外精锐生产商的生产技术，也一步一步开展着机器设备升級，产品研发新型产品。蚀刻机在中国存有也是有几十个年分了，期内有许多的生产厂家盛行衰落。紧伴随着时代潮流一往直前，勤奋做到不断、长久、平稳的发展趋势布局。 现现在社会，竞争能力猛烈、人才辈出、一山更比一山高的局势让大家更为了解到存活的重特大工作压力。各个领域之中及其蚀刻机产业链之中亦是如此，市场竞争是一个但是时的词，并且也是每个领域中的热点话题。企业存活的重要便是得必须独立开发设计，创新新起的商品才可以坐稳影响力，获得销售市场。 中国的蚀刻机产业发展规划还得靠各大生产商适用和推动，坚信蚀刻机的市场前景是光辉的。这儿说到创新，这是一个企业的生命血夜。自主研发新起商品，创新的生产技术是企业不可或缺的。切合当代社会经济发展要求，这就必须生产商也得紧跟步伐，提升本身的生产量技术性。融合海外生产技术工作经验，选准发展趋势突破口。

蚀刻速率：蚀刻速率慢会造成严重侧蚀。蚀刻质量的提高与蚀刻速率的加快有很大关系。蚀刻速度越快，板子在蚀刻液中停留的时间越短，侧蚀量越小，蚀刻出的图形清晰整齐。

4)蚀刻液的PH值：碱性蚀刻液的PH值较高时，侧蚀增大。峁见图10-3为了减少侧蚀，一般PH值应控制在8.5以下。

5)蚀刻液的密度：碱性蚀刻液的密度太低会加重侧蚀，见图10-4，选用高铜浓度的蚀刻液对减少侧蚀是有利的.

6)铜箔厚度：要达到侧蚀的细导线的蚀刻，采用(超)薄铜箔。而且线宽越细，

铜箔厚度应越薄。因为，铜箔越薄在蚀刻液中的时间越短，侧蚀量就越小。