派瑞林(Parylene)是一种优良的三防材料,其保护作用胜过有机硅树脂,环氧树脂和聚氨脂。近年来在传感器表面镀膜Parylene已经成为一种趋势,经Parylene镀膜防护的传感器包括汽车传感器、腐蚀环境用传感器、生物医学传感器、声学传感器、生物医学电极和植入传感器等等,Parylene对传感器的保护除了绝缘防护外,更多是用做恶劣环境防护材料。
Parylene【派瑞林】镀膜能耐酸、碱和,对水汽和盐雾等恶劣环境有的阻隔防护能力。Parylene【派瑞林】镀膜的超薄特性,不会改变传感器的外观、尺寸、弹性、重量等。
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Parylene【派瑞林】的原理是用***的真空气相沉积工艺(CVD技术)制备,由活性小分子在基材表面"生长"出完全敷形的聚合物薄膜涂层,它能涂敷到各种形状的表面,包括尖锐的棱边,号称"无孔不入"可深入裂缝里和内表面。这种真空状态下室温沉积制备的0.1-100微米薄膜涂层,厚度均匀、致密无、透明无应力、不含助剂、不损伤工件、有优异的电绝缘性和防护性,甚至被业内称为当今世界的防潮、防霉(零级)、防腐、防盐雾的特殊防护涂层。
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Parylene的真空气相沉积工艺不仅和微电子集成电路制作工艺相似,而且所制备的Parylene涂层介电常数也低,还能用微电子加工工艺进行刻蚀制图,进行再金属化,因此Parylene不仅可用作防护材料,而且也能作为结构层中的介电材料和掩膜材料使用,经Parylene涂敷过的集成电路芯片,其25um细直径连接线,连接强度可提高5-10倍。
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