Parylene在可见光的范围内吸取得很少,因此是透明无色的。无色透明的薄膜可用于光学器件、可擦性光电储存器件和静电复印器件。在低于280微米时,ParyleneN和ParyleneC的吸取都很强。所有的Paryleng在至少60微米的波长下都相对没有特征(除了一些峰值特征以外)。
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Parylene的真空气相沉积工艺不仅和微电子集成电路制作工艺相似,而且所制备Parylene涂层介电常数也低,还能用微电子加工工艺进行刻蚀制图,进行再金属化,因此Parylene不仅可用作防护材料,而且也能作为结构层中的介电材料和掩膜材料使用,经Parylene涂敷过的集成电路芯片,其25um细直径连接线,连接强度可提高5-10倍。
Parylene能在0.2um厚时就完全没有,5um时就能耐1000V以上直流击穿电压,又是摩擦系数很低的一种自润滑材料,化学惰性和阻隔性能也好,因此在微电子机械系统中,除了作电介质材料外,还用作微型传动机构和微型阀门的结构材料和防护材料。
Parylene应用领域 因具有以上优势,Parylene已经广泛被应用到各个领域: 光电材料——电路、电路组件和元器件、微电子机械系统(MEMS)、传感器以及光纤光缆接头密封件:微米级涂层能对印制电路组件的表面提供非常可靠的防护,既不会对基材形成伤害,而且有利于元器件散热;磁性材料:它能对小型超小型磁材进行无薄弱点全涂敷的磁材可浸盐酸10天以上不腐蚀,目前国际上小型超小型磁材,几乎都采用Parylene作绝缘和防护涂层;生物***领域:Parylene符合ISO-10993生物试验要求、FDA G95-1、(RoHS)2002/95/EC,不仅电性能和防护性能好,而且具有生物兼容性和生物稳定性,无毒无副产物,而且可以进行常规消。
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