目前有很多都达到了微米甚至纳米级别,带来了十年前无法提供的种种优势。这些器械具有需小心保护的内部电子元件(植入式或外部)。由于这些电子元件体积微小,没有足够的重量进行沉降、喷涂或涂刷,因此无法采用常规的敷形保护涂层。一些微小的装置还会受到气隙、厚度不均以及很多涂层内在的其他因素的不良影响。对于植入式微电子元件来说,保护涂层还必须具有生物相容性。
派瑞林(Parylene)涂层靠自身特性的优势,为植入应用提供一种具有生物相容性的超薄涂覆选择,尤其是对那些需要保护电子元件的应用。
一些新的三防涂覆技术应运而生,其中真空涂覆技术是一种新颖的材料合成与加工的新技术。真空涂覆技术是利用物理、化学手段将固体表面涂覆一层特殊性能的涂覆,从而使固体表面具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、、防辐射、导电、导磁、绝缘和装饰等许多优于固体材料本身的***性能,达到提高产品质量、延长产品寿命、节约能源和获得显著技术经济效益的作用。
因此真空涂覆技术被誉为发展前途的重要技术之一,并已在高技术产业化的发展中展现出诱人的市场前景。
用ParyleneC涂敷的钢板,在–160℃的液氮中冷却,在Gardner落体试验中可以承受超过100in-lb的冲击。相比之下,室温下为250in-lb。无支持的0.002英寸的ParyleneC薄膜在–165℃下可以弯折180°6次才失效。相比胶而言,聚乙烯、聚氨酯和聚四氟乙烯分别为3次、2次和1次。从2°(–271℃)到室温环境的过程对电气和物理性能都没有影响。对于ParyleneC的厚度从0.002英寸到0.0001英寸的测试效果如表2.很故意思的是,即使对于特别很是薄的涂层(0.0001英寸),绝缘阻抗值也比规定的规格高出一个数量级。
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