产品用途

　　激光干涉仪是检定数控机床、坐标测量机位置精度的理想工具，可按照规定标准处理测量数据并输出误差曲线，为数控机床的误差 修正提供可靠依据，现场使用尤为方便。

　　激光干涉仪配有各种附件，可测量小角度、平面度、直线度、平行度、垂直度等形位误差。

　　激光干涉仪也是一种高精度位移传感器，可直接用于高精度、大尺寸的动态位移测量系统。

　　激光干涉仪具有对光栅、磁栅、线纹尺、感应同步器等精密测量 元件的检测和刻划功能，可按预定的间距自动完成检测和刻划定位。

激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。

激光干涉仪不同测量功能精度和分辨率如下：

　　线性测量

　　测量距离：(0~80)m (无需远距离线性附件)

　　测量精度：0.5ppm (0~40)℃

　　测量分辨力：1nm

　　测量***1大速度：4m/s

　　角度测量

　　轴向量程：(0~15)m

　　测量范围：±10°

　　测量精度：±(0.02%R+0.1+0.024M)″ (R为显示值，单位：″；M为测量距离，单位：m)

　　测量分辨力：0.1″

　　平面度测量

　　测量范围：±1.5mm

激光干涉仪 当髙压联接在阳极氧化和负极中间时，混合气体被激起，产生激光器光线，根据变大激光器光照强度使某些光散射出去变成輸出激光器光线。在其中，为保持均衡情况，根据电加热器操纵激光二极管长短让激光器稳频的精密度维持在±0.05ppm之内，这时平稳輸出后，激光发生器就能开展干预精1确测量。现如今大部分当代偏移干涉仪都应用氦(HeNe)激光二极管，这种激光二极管具备633纳米技术的光波长輸出。采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出。