净化工程设计步骤

1.设计功能间,不论是辅助区，还是生产线，其均应满足生产要求和操作的方便性，尽量减少物料和人员的往返，各功能间不得相互穿越；洁净区和非洁净区、无菌操作区和非无菌操作区能有效分隔。

2.洁净厂房的建筑围护结构和室内装修，应选用气密性良好， 且在温度和湿度等变化作用下变形小的材料。墙面内装修当需附加构造骨架和保温层时。

如何控制无尘洁净室的温度湿度？

洁净棚具有多种洁净等级及空间调配能够依据运用需求设计制造，因而其简洁运用弹性大安装简单且施工期短以及可移性为其主要特色，洁净棚一起可针对在一般等级的洁净室中局部地区需要高洁净度的当地做局部增设以降低成本。洁净棚是一种可提供局部高洁净环境的空气净化设备。洁净棚主要由箱体、风机、初效空气过滤器、阻尼层、灯具等组成，外壳喷塑。该产品既可悬挂，又可地上支撑，结构紧凑，运用方便。

湿度过高发生的问题更多，相对湿度超越55%时，冷却水管壁上会结露，假如发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将经过空气中的水分子把硅片外表粘着的灰尘化学吸附在外表耐难以铲除由于加工精度越来越精密，所以对温度波动规模的要求越来越小。例如在大规模集成电路出产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板资料的玻璃与硅片的热胀大系数的差要求越来越小。