洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。当洁净室内相对湿度精度要求≤±10%时好不采用。而采用喷干蒸汽和电热（电极）式加湿的方法。净化工程中净化空气调节系统除直流式系统和设置值班风机的系统外，应采取防止室外污染空气通过新风口参入净化车间内的防灌倒措施。

对于净化空调系统的加湿问题而言，常用的加湿方法有很多种，有淋水、湿膜、高压喷雾超声波等水加湿，这些加湿方法属等焓加湿过程。而喷蒸汽、喷干蒸汽和电极（电热）加湿是向空调送风中喷蒸汽，其加湿方法属等温加湿过程。净化工程中净化空气调节系统除直流式系统和设置值班风机的系统外，应采取防止室外污染空气通过新风口参入净化车间内的防灌倒措施。洁净室噪声标准一般均严于保护健康的标准，目的在于保障操作正常进行，满足必要的谈话联系及安全舒适的工作环境。

净化工程要求施工：在铺设塑料片或线圈表面之前，应根据尺寸和厚度对其进行预分类。片材或线圈应在表面涂有粘合剂。表面应该是水平的，不应泄漏或留下。施工现场应确保良好的通风和照明。对于改造工程，应对原有的电源和易1燃，易1爆有气体管道进行识别和建设，并对过程中使用的腐蚀性液体进行安全保护措施临时安装在净化工程中的设备应在不使用时关闭，以防止灰尘和碎屑进入净化工程。