近年来, 受半导体制造、液晶注入、太阳能电池生产、电子器件等新兴行业和薄膜制备、化工、制药等传统行业的带动, 多级罗茨干泵作为***装备之一, 其研制和生产越来越受到重视。多级罗茨干泵满足了IC 装备制造业的工作温度高、长期运转稳定、噪声低、维护简单、清洁无油等众多要求, 是很有发展前景的一种干式真空泵。真空泵故障诊断也希望无需把正在运转的真空泵停下来拆开而用各种方法取得有关数据，诊断真空泵内部的故障状况，从而采取一定的维修措施，使真空泵长周期、***运转。但是, 除了加工及装配要求精度高、加工难度大、一次性投入昂贵等制约因素外, 其设计理论和制造工艺亟待提高, 尤其包括罗茨型线的改善、加工成本的降低、间隙的确定、泄漏量的计算、泵内的热力学分析、转子表面涂层、噪声振动等难点问题, 制约了多级罗茨干泵研制和生产。

罗茨泵真空泵的主要特点：

1.所有规格的罗茨泵均采用风冷冷却方式，无需循环冷却水系统。

2.与的变频器配合使用，可使泵的抽速增加百分之100。

3.灌装机结构，无轴封设计，消除了故障点，泵气密性提高，更坚固耐用，可抽高纯/辐射性气体。

4.带逸流阀的WSU系列可以在大气下启动，既简化了系统的控制程序，又提高了从大气压到10mbar范围内机组的抽速。

5.垂直流改水平流简单方便。

6.电机绕组内部安装了温度保护开关，保护电机和泵的可靠运行、此外，还有适合快速节拍抽空的WSU(H)型号，比如用于锁室应用。

莱宝罗茨泵常见问题有哪些？应该怎样避免？

1、快速抽空

在实际应用中，需要实现数秒的抽汽，周期，因此操作人员必须保证罗茨泵与前级泵的比例为1:2，保证这一比例是必要的，因为前级泵在100hp的压力下抽出大部分的时间，而罗茨泵只能在10hpa的压力下有效地工作。真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。因此，证明了前级泵的尺寸必须相应增大。

2、不当的温度波动

当罗茨泵堵头仍然很热时，环境温度突然急剧下降会导致泵壳收缩并导致泵停止旋转。如图1所示，在***压力下工作时，这一点尤为重要。水冷泵冷却水量不足，循环水设计效果不佳，温控水量调节阀失效等。因此，有必要不惜一切代价避免环境温度的突然变化。此外，操作人员一定要注意不要突然打开附近的百叶窗、其他门等，尤其是在冬季。

另外，对于那些自承式水泵，要把它放在屋檐或雨棚里，以免被雨淋。如果发生火灾时水直接射向泵，泵壳可能会，尤其是灰铸铁外壳。球墨铸铁版泵，由于其材料强度较高，更适合承受这种热波动。

3、温度控制

如果菜宝罗茨泵在大压差下运行，则需要在排气端安装温度传感器，以防止过热和由此造成的任何损坏。这将在限定温度下产生警报，并在达到高允许温度时关闭泵。

莱宝真空泵使用的注意事项

(1) 润滑油使用机械真空泵油(即石油部门规定的SY1634-76，1号真空泵油，其代号KK-1),要不然达不到所要求之真空。

(2) 要是长久不用，则需要间隔7-10天开泵一次，开泵时长约一小时，以防泵内锈蚀。

旋片式真空泵供应商每隔半年需要清洗一次莱宝真空泵内的污垢和灰尘，对风扇轮、通风格栅、冷却翅片以及风扇引擎罩进行清洗，用压缩空气清洗z好。

对于莱宝真空泵油及时进行更换，每月都要进行一次对排气过滤器与进气过滤器进行的检查。