真空泵的材质要求
1、要有足够的机械强度和刚度,从而保证壳体能承受较大的大气压力,在加热烘烤时不可发生变形。
2、化学稳定性好。真空泵的材质要有较强的和抗腐蚀能力,不与真空泵中的工作介质及工艺过程中的放气发生化学反应。
3、在工作温度和烘烤温度下,饱和蒸气压要足够低。
4、热稳定性好。在系统的工作温度范围内,能始终保持良好的真空性能和机械性能。
5、在工作真空度及工作温度下,真空容器内部的器件应保持良好的工作性能。
6、另外,真空泵的材质要有较好的延展性、机械加工性能和焊接性能,易加工成复杂形状的壳体。
7、气密性好。它在工作时,要保持在很高的真空环境下,所以器壁材料不可以存在多孔结构、裂纹或形成渗漏的其它缺陷,渗透速率和出气速率要低。
真空泵的范围要求及工作压强
真空泵在进行使用的过程中,其工作强度应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度,选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
正确的选择其真空泵的工作点,每种泵都有一定的工作压强范围,如:扩散泵为10-3~10-7mmHg,在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化,其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能让它在10-8mmHg下长期工作。真空市场将从有油时代跨越到无油时代的这一转变很大程度上推动了螺杆真空泵的发展,虽然现在的技术离国外技术还有悬殊,但国内的技术力量不可忽视,对于新产品的研发,国内的科技人员都很感兴趣,而且那种坚持的态度是的。
真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。观察者正对皮带轮,皮带轮应按顺时针方向旋转,若反方向旋转时,可把相电源中任意二相接头对换一下即可。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。
版权所有©2024 天助网