对于蒸发镀膜:一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。厚度均匀性主要取决于:

基片材料与靶材的晶格匹配程度，基片表面温度，蒸发功率，速率，真空度，镀膜时间，厚度大小。

组分均匀性:蒸发镀膜组分均匀性不是很容易保证，具体可以调控的因素同上，但是由于原理所限，对于非单一组分镀膜，蒸发镀膜的组分均匀性不好。

表面处理：通常,镀膜之前,应对基材（镀件）进行除油、除尘等预处理,以保证镀件的整洁、干燥,避免底涂层出现麻点、附着力差等缺点。对于特殊材料,如PE（聚乙烯）料等,还应对其进行改性,以达到镀膜的预期效果。

底涂：底涂施工时,可以采用喷涂,也可采用浸涂,具体应视镀件大小、形状、结构及用户设备等具体情况及客户的质量要求而定。采用喷涂方法,可采用镀膜油；采用浸涂方法,具体应视镀件材料而定。

扩散泵和增压泵各留有备用水出口，若镀膜机故障或停电必须开备用出口让其冷却扩散泵和增压泵，镀膜工作前必须接通全部设备冷却进水，以防止电极和基体材料烧毁。扩散泵和油增压泵在加热情况下，切勿与大气接触，以免泵油氧化，定期检查和调整水流继电器，检查断水报警是否正常，保证设备冷却水供水畅通，在拆装镀膜机各机件时，应注意保护各密封工作面不受机械划伤或损伤，以保证镀膜密封***。真空镀膜是一种在许多领域(如电子工业、光学仪器制造、薄膜研究等)中有着广泛应用的实用技术．真空镀脂较之传统的电镀、化学镀具有许多***性，如纯度高、均匀性好、膜厚可以严格控制、材料种类多样．既可镀金属膜、又可以镀介质膜，而且制备方法简单。